【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针台，尤其涉及一种探针支撑平台调节机构以及探针台。
技术介绍
1、使用手动探针台进行测试半导体器件时，会先使用真空吸盘固定半导体器件，针座固定或磁力吸附在探针支撑平台上，接着使用针座上的x/y轴向(水平方向)调节机构调整探针相对半导体器件位置，使用z轴向(高度方向)调节机构调整探针扎入/脱离半导体器件。使用多个探针进行测试时，需要将所有针座依次进行调整；有多个器件或重复测试时，需要反复调整，这导致在调整针座时不仅无法同步，而且很容易出现调整其他针座时，对已经调整好的针座又形成误碰；这种调整方式不仅效率低下，而且无法保证最后的调整精度。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种探针支撑平台调节机构,以提高调节机构对多个探针支撑平台的调整效率，并且还能避免由于对把手以及其他结构造成误触而对探针台的工作造成影响，显著地提高了整个探针台的稳定性、可靠性和安全性。
2、在第一方面，本专利技术提供一种探针支撑平台调节机构...
【技术保护点】
1.一种探针支撑平台调节机构，包括：底座(1)；驱动组件(2)，包括转动设置在所述底座(1)上的把手(21)；至少两个升降组件(3)，用于连接所述底座(1)和探针支撑平台(6)，并用于带动所述探针支撑平台(6)升降；其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的探针支撑平台调节机构，其特征在于，所述底座(1)在所述把手(21)的转动方向上形成有两个相对设置的限位面(11)，所述把手(21)在两个所述限位面(11)之间转动，并分别于两个所述限位面(11)在周向上限位配合。
3.根据权利要求2所述的探针支撑平台调节机构，其特征在于，所述驱动组件(2...
【技术特征摘要】
1.一种探针支撑平台调节机构，包括：底座(1)；驱动组件(2)，包括转动设置在所述底座(1)上的把手(21)；至少两个升降组件(3)，用于连接所述底座(1)和探针支撑平台(6)，并用于带动所述探针支撑平台(6)升降；其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的探针支撑平台调节机构，其特征在于，所述底座(1)在所述把手(21)的转动方向上形成有两个相对设置的限位面(11)，所述把手(21)在两个所述限位面(11)之间转动，并分别于两个所述限位面(11)在周向上限位配合。
3.根据权利要求2所述的探针支撑平台调节机构，其特征在于，所述驱动组件(2)还包括设置在所述底座(1)上的稳定座(23)，所述把手(21)转动设置在所述稳定座(23)上，所述稳定座(23)套设在所述把手(21)上，所述稳定座(23)朝向所述把手(21)的一侧开设有用于避让所述把手(21)的缺口，所述缺口在所述把手(21)的转动方向上分别形成两个所述限位面(11)。
4.根据权利要求1所述的探针支撑平台调节机构，其特征在于，所述升降组件(3)包括丝杠(31)、螺纹套(32)和导轨(33)，所述丝杠(31)与所述传动组件(4)传动连接，所述螺纹套(32)与所述丝杠(31)螺纹连接，所述导轨(33)沿所述丝杠(31)的延伸方向固定在所述底座(1)上，所述螺纹套(32)与所述导轨(33)滑动配合。
5.根据权利要求1至4任一项所述的探针支撑平台调节机构，其特征在于，所述传动组件(4)包括多个链轮和将所有所述链轮传动连接的链条(43)，多个所述链轮包括与所述把手(21)传动连接的主动链轮(41)和与至少两个所述升降组件(3)一一对应连接的从动链轮(42)，所述锁止组件(5)用于将所述主动链轮(41)、所述从动链轮(42)和所述链条(43)中的一者或多者与所述底座(1)连接锁止。
6.根据权利要求5所述的探针支撑平台调节机构，其特征在于，所述锁止组件(5)包括伸缩杆(51)和锁洞(52)，所述主动链轮(41)其中一个与所述链条(43)啮合的齿牙为设定齿牙(411)，所述设定齿牙(411)上沿所述主动链轮(41)的径向开设有供所述伸缩杆(51)滑动的滑槽(412)，所述把手(21)与所述伸缩杆(51)连接，所述锁洞(52)...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭小明，王景峰，闫立民，
申请(专利权)人：美博科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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