【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于低维力学器件或测磁，特别涉及一种低维材料力学器件的制备方法及其使用的制备装置。
技术介绍
1、低维纳米材料是近年凝聚态物理研究的热点，这类材料表现出很多新异的物理性质，如高可塑性、低能耗、光电可调控等。随着研究深入，各种结构器件的出现使得这类材料的转移变得愈加重要。根据材料特性，转移方法也不尽相同。例如，非专利文献1综述了一些具有代表性的二维材料转移方法，基于转移后样品表面清洁程度、转移所需时间以及操作难易等方面对各个转移方法进行了对比归纳。
2、常用的转移方法包括干法转移、湿法转移等。干法转移通过例如探针与样品之间的静电吸附作用粘取样品使之从衬底分离，再将粘取的样品通过按压或材料与衬底之间的吸附力转移到目标衬底上。这种方法转移成功率低，而且容易造成样品损伤。为了减小样品与其原始衬底之间的吸附力，可以把样品(连同其原始衬底)、目标衬底均浸泡在浸润液如有机试剂里，有机试剂分子自发插层到样品与衬底之间，从而减弱样品和衬底的结合力，然后再用探针将样品挑起来，通过探针粘取样品转移到目标衬底上，这就是湿法转移。
<...【技术保护点】
1.一种低维材料力学器件制备方法，通过将低维材料样品转移至力学传感器上制备低维材料力学器件，其特征在于：
2.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
3.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
4.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
5.如权利要求2所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
6.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
7.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
8.一种低维...
【技术特征摘要】
1.一种低维材料力学器件制备方法，通过将低维材料样品转移至力学传感器上制备低维材料力学器件，其特征在于：
2.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
3.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
4.如权利要求1所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
5.如权利要求2所述的低维材料力学器件制备方法，其特征在于：
【专利技术属性】
技术研发人员：秦永亮，王宁，陈正，李奇，甄伟立，张警蕾，杜海峰，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：
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