磁传感器制造技术

本发明专利技术所涉及的磁传感器(10)具备：基板(13)；磁探测元件(11)，其隔着绝缘层(14)形成于基板(13)上，相对于具有沿着基板(13)的面内方向的X轴方向上具有探测轴的磁场的输出信号特性是偶函数；交流电布线(12AC)，其能对磁探测元件(11)施加交流磁场；和直流电布线(12DC)，其能对磁探测元件(11)施加直流磁场，磁探测元件(11)、交流电布线(12AC)以及直流电布线(12DC)相互绝缘，交流电布线(12AC)的至少一部分埋设于基板(13)而形成，因此，在供给交流电流时，抑制了交流电布线的电阻上升导致的消耗电力的增加，磁分辨率高。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及具备能高效率地对磁探测元件施加交流磁场的交流电布线以及直流电布线的抑制了消耗电力的磁传感器。

技术介绍

1、为了能进行高灵敏度的磁场检测，提出具备磁探测元件、和对磁探测元件施加交流磁场的交流电布线的磁传感器。

2、在专利文献1中记载了一种磁测量装置，该磁测量装置具备输出电压相对于磁场的输出特性成为偶函数的磁传感器和对该磁传感器施加调制交流磁场的调制线圈，在专利文献1中公开了在gmr元件附近的布线流过交流电流和直流电流来使交流磁场和直流磁场产生。

3、在专利文献2中，记载了第1磁性层、和对根据流过第1布线的电流以及施加于第1传感器元件的被检测磁场而第1传感器元件的第1电阻发生变化的磁传感器中的第1布线供给交流的电流。在专利文献3中记载了具备对磁探测元件供给交流电流的布线的磁传感器。根据这些文献中记载的磁传感器，能通过基于交流磁场的调制来精度良好地检测外部磁场。

4、在先技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：jp特开2017-3336号公报

7、专利文献2：jp特开2018本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磁传感器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

3.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

4.根据权利要求2所述的磁传感器，其中，

5.根据权利要求2所述的磁传感器，其中，

6.根据权利要求5所述的磁传感器，其中，

7.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

8.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

9.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

10.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种磁传感器，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

3.根据权利要求1所述的磁传感器，其中，

4.根据权利要求2所述的磁传感器，其中，

5.根据权利要求2所述的磁传感器，其中，

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【专利技术属性】
技术研发人员：菊地冠汰，梅津英治，
申请(专利权)人：阿尔卑斯阿尔派株式会社，
类型：发明
国别省市：