全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片制造技术

本发明专利技术涉及三轴陀螺仪，具体是一种全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明专利技术解决了现有三轴陀螺仪测量精度低、灵敏度低的问题。全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括中心锚点；中心锚点的外侧面连接有两根呈左右对称分布的直形支撑悬梁A；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座的上表面溅射有中心点状平面电极、四个沿周向对称分布的等腰梯形平面电极、四个沿周向对称分布的格栅形平面电极、四对沿周向对称分布的外围点状平面电极A、四个沿周向对称分布的外围点状平面电极B、四对沿周向对称分布的条形平面电极。本发明专利技术适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及三轴陀螺仪，具体是一种全解耦四质量对称单片三轴mems陀螺芯片。

技术介绍

1、三轴陀螺仪是惯性导航系统的核心敏感器件，可以同时测量x轴、y轴、z轴方向上的角速度输入，其广泛应用于军事导航、深空探测等高精尖领域，具有极其广泛的应用前景。现有三轴陀螺仪主要分为两类：一类是单片集成式三轴陀螺仪，此种三轴陀螺仪存在的问题是：其一，无法实现各驱动、检测方向的完全解耦，导致各模态之间的耦合误差大，由此导致测量精度低。其二，由于其谐振子的几何结构所限，导致面积的使用率低，由此导致灵敏度低。另一类是组装式三轴陀螺仪（由三个单轴陀螺仪组装而成），此种三轴陀螺仪受组装工艺所限，存在测量精度低的问题。基于此，有必要专利技术一种全解耦四质量对称单片三轴mems陀螺芯片，以解决现有三轴陀螺仪测量精度低、灵敏度低的问题。

技术实现思路

1、本专利技术为了解决现有三轴陀螺仪测量精度低、灵敏度低的问题，提供了一种全解耦四质量对称单片三轴mems陀螺芯片。

2、本专利技术是采用如下技术方案实现的：

3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片，其特征在于：包括谐振子部分和电极部分；

2.根据权利要求1所述的全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片，其特征在于：所述谐振子部分采用硅制成；所述正方形基座（201）采用玻璃制成。

3.根据权利要求1所述的全解耦四质量对称单片三轴MEMS陀螺芯片，其特征在于：谐振子部分和电极部分采用SOG工艺制造为一体。

【技术特征摘要】

1.一种全解耦四质量对称单片三轴mems陀螺芯片，其特征在于：包括谐振子部分和电极部分；

2.根据权利要求1所述的全解耦四质量对称单片三轴mems陀螺芯片，其特征在于：所述谐振子部...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹慧亮，田慧敏，魏雯强，王晓毅，谢会开，杨云春，王馨宇，崔让，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：