本发明专利技术是提供一种阴极放电装置，其包括一阳极、一阴极以及多个阴极腔室。其中该阴极位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，其中该多个气体流道经由该流道通孔相通；该多个阴极腔室位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，每一该阴极腔室经由该腔室气体入口与该气体流道相通。本发明专利技术可应用于太阳能电池等光电装置的大面积薄膜制程的中空阴极放电的电浆源装置，通过工作气体流道的稳压作用，电浆具有高均匀度与高解离度的特性，并可提高成膜速率，大幅提升太阳能电池等光电装置的制造技术、产品性能、产品的质量稳定性及质量可靠度，并显著降低生产成本，造福大众使用者。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种阴极放电装置，特别是一种可大尺寸化的中空阴极放电装置。
技术介绍
在石化燃料日渐短缺的情势下，寻求各类替代能源已刻不容缓。替代能源方案又以太阳能最为经济与环保，因此各国政府如美国及德国已将太阳能的开发列为国家能源发展计划。然而受限于太阳电池的效率，太阳能的利用率有限，为了提升利用率，有两种做法其一提升太阳能电池的效率，其二是降低太阳能电池的制造成本，然而因为受限于半导体的固态特性，提升太阳能电池的效率不易达成，但是增加太阳能电池的覆盖面积却是可行的。 制作太阳能电池薄膜的方法主要为电浆辅助化学气相沉积技术，由于都会大楼的玻璃建材已趋大面积化，为提高产能，应用于大面积玻璃基板的太阳能电池薄膜制程也有大面积化与连续式生产的趋势，此趋势刚好符合TFT-LCD面积的不断演进。近年来，光电技术突飞猛进，包括太阳能电池、液晶薄膜晶体管显示器等，皆须要能做大面积连续制程的电浆源装置，然而目前应用在TFT-LCD电浆制程的电浆源装置在扩大电浆面积的情况下，面临电浆均匀度的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的为提供一种阴极放电装置，其包括一阳极、一阴极及多个阴极腔室。该阴极位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，该多个气体流道经由该流道通孔相通。该多个阴极腔室位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口 ，且每一该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通。 根据上述构想，其中该阳极与该阴极之间隔着一绝缘材料。 根据上述构想，其中该阴极放电装置更包括一流道气体入口，其中该阴极放电装置吸入一工作气体，该工作气体经由该流道气体入口 ，流入该多个气体流道之一，并经由该流道通孔，流入其它气体流道，再经由该腔室气体入口 ，流入该阴极腔室。 根据上述构想，其中经由该多个阴极腔室的该腔室气体出口所喷出的电浆的喷出方向不平行。 根据上述构想，其中该阴极包括一阴极第一部分及一阴极第二部分，该阴极第一部分位于该阴极第二部分之内，该阴极第一部分与该阴极第二部分为一体成型或分离配置。 根据上述构想，其中该阴极腔室包括一阴极腔室第一部分及一阴极腔室第二部分，该阴极腔室第一部分位于该阴极第一部分之内，而该阴极腔室第二部分位于该阴极第二部分之内。 根据上述构想，其中该阴极腔室第一部分与该阴极腔室第二部分具有不同的大小或形状。 根据上述构想，其中阴极放电装置还包括一馈电元件与一电源供应器，该馈电元件与该阴极电性连接，该电源供应器电性连接至该馈电元件，提供电流至该阴极。 本专利技术的另一目的为提供一种阴极放电装置，其包括一阳极、多个阴极及多个馈电元件。该多个阴极位于该阳极内，每一该阴极内部具有至少一气体流道及至少一阴极腔室，该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，且该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通。该多个馈电元件与该多个阴极电性连接。 根据上述构想，其中该阴极放电装置包括一电源供应器，其电性连接至该多个馈电元件的至少其中之一。 根据上述构想，其中该阴极放电装置更包括至少一流道气体入口，其中该阴极放电装置吸入一工作气体，该工作气体经由该流道气体入口 ，流入该气体流道，再经由该腔室气体入口，流入该阴极腔室。 根据上述构想，其中该工作气体于该阴极腔室中，产生电浆，该电浆经由该阴极腔室的该腔室气体出口喷出。 本专利技术的又一目的为提供一种阴极放电装置，其包括多个阴极放电组件及一电极连接元件。其中每一该阴极放电组件包括一阳极、一阴极、多个阴极腔室及多个馈电元件。该阴极位于该阳极内，该阳极与该阴极之间隔着一绝缘材料，该阴极内部具有至少一气体流道。该多个阴极腔室位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口 ，每一该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通。该多个馈电元件与该阴极电性连接。该电极连接元件电性连接至每一该阴极放电组件的该多个馈电元件的至少其中之一。 根据上述构想，其中该气体流道包括一第一气体流道、一第二气体流道及至少一流道通孔，该第一气体流道及该第二气体流道通过该流道通孔相通。 根据上述构想，其中该阴极放电装置更包括至少一流道气体入口，其中该阴极放电装置吸入一工作气体，该工作气体经由该流道气体入口 ，流入该第一气体流道，再经由该流道通孔，流入该第二气体流道，再经由该腔室气体入口 ，流入该多个阴极腔室。 根据上述构想，其中该工作气体通常选自氢气、氦气、氩气、氧气、氮气、氨气及硅烷至少其中之一。 根据上述构想，其中该工作气体于该多个阴极腔室中，产生电浆，该电浆经由该多个阴极腔室的该腔室气体出口喷出。 根据上述构想，其中该阴极放电装置更包括一电源供应器，其电性连接至该电极连接元件，该电源供应器经由该电极连接元件所电性连接的馈电元件，提供电流至每一该阴极放电组件的该阴极。 本专利技术的有益效果针对现有技术的问题，本案专利技术团队经深入研究分析，终于开发出可应用于太阳能电池等光电装置的大面积薄膜制程的中空阴极放电的电浆源装置，通过工作气体流道的稳压作用，电浆具有高均匀度与高解离度的特性，并可提高成膜速率，可根本解决现有技术的问题，大幅提升太阳能电池等光电装置的制造技术、产品性能、产品的质量稳定性及质量可靠度，并显著降低生产成本，造福大众使用者。附图说明 图1为本专利技术第一实施例的阴极放电装置的侧面剖面示意图。 图2为本专利技术第一实施例的阴极放电装置沿着图1中的A-A'横断面的剖面示意 图。 图3为本专利技术第二实施例的的阴极放电装置的剖面示意图。 图4为本专利技术第三实施例的的阴极放电装置的剖面示意图。 图5为本专利技术第三实施例的阴极放电装置的立体示意图。 图6为本专利技术第四实施例的的阴极放电装置的剖面示意图。 图7为本专利技术第四实施例的阴极放电装置的立体示意图。 [OOSO]主要部分代表符号说明5:电桨 10A、10B、100、200 :阴极放电装置 210a、210b :阴极放电组件 11、110:阳极 21、21a、21b、121a、121b、221a、221b :阴极 22、22a、22b、22c :绝缘材料元件 23a、23b :气体流道 23c :流道通孔 24a、24b :流道气体入口 25、25a、25b :阴极腔室 26 :工作气体 27a:腔室气体入口 27b :腔室气体出口 41、41a、41b、141a、141b、241a、241b :馈电装置 42、142、242 :电极连接元件 43、143、243 :电源供应器 44a、44b、44c、44d、44e、44f、144、244 :馈电装置插槽具体实施例方式本专利技术将通过下述的较佳实施例并配合图示，作进一步的详细说明。 〔第一实施例〕 图1为本专利技术第一实施例的阴极放电装置的侧面剖面示意图，图2为本专利技术第一 实施例的阴极放电装置沿着图1中的A-A'横断面的剖面示意图，意即沿阴极管方向的剖面 示意图。请参照图2，阴极放 装置10A包括阳极11、阴极21及阴极腔室25。阴极21位于 阳极11内部，其间可隔着绝缘材料元件22a、22b及22c。 阴极21包括多个阴极腔室25，阴极21可分为阴极第一部分21a及阴极第二部分 21b，即相接触的两对象，以方便机械加工制作，也可以是一体成型。阴极腔室25可分为阴 极腔室第一部分25a及阴极本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种阴极放电装置，其特征在于，包括：一阳极；一阴极，位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，该多个气体流道经由该流道通孔相通；以及多个阴极腔室，位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，且每一该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通。
【技术特征摘要】
一种阴极放电装置，其特征在于，包括一阳极；一阴极，位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，该多个气体流道经由该流道通孔相通；以及多个阴极腔室，位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，且每一该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通。2. 如权利要求l的阴极放电装置，其特征在于，该阳极与该阴极之间隔着一绝缘材料。3. 如权利要求l的阴极放电装置，其特征在于，还包括一流道气体入口，其中该阴极放电装置吸入一工作气体，该工作气体经由该流道气体入口 ，流入该多个气体流道之一，并经由该流道通孔，流入其它气体流道，再经由该腔室气体入口 ，流入该阴极腔室。4. 如权利要求3的阴极放电装置，其特征在于，该工作气体选自氢气、氦气、氩气、氧气、氮气、氨气及硅烷至少其中之一。5. 如权利要求3的阴极放电装置，其特征在于，该工作气体于该多个阴极腔室中，产生电浆，该电浆经由该多个阴极腔室的该腔室气体出口喷出。6. 如权利要求5的阴极放电装置，其特征在于，经由该多个阴极腔室的该腔室气体出口所喷出的电浆的喷出方向不平行。7. 如权利要求l的阴极放电装置，其特征在于，该阴极包括一阴极第一部分及一阴极第二部分，该阴极第一部分位于该阴极第二部分之内，该阴极第一部分与该阴极第二部分为一体成型或分离配置。8. 如权利要求7的阴极放电装置，其特征在于，该阴极腔室包括一阴极腔室第一部分及一阴极腔室第二部分，该阴极腔室第一部分位于该阴极第一部分之内，而该阴极腔室第二部分位于该阴极第二部分之内。9. 如权利要求8的阴极放电装置，其特征在于，该阴极腔室第一部分与该阴极腔室第二部分具有不同的大小或形状。10. 如权利要求l的阴极放电装置，其特征在于，还包括一馈电元件与该阴极电性连接。11. 一种阴极放电装置，其特征在于，包括一阳极；多个阴极，位于该阳极内，每一该阴极内部具有至少一气体流道及至少一阴极腔室，该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，且该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通；以及多个馈电元...
【专利技术属性】
技术研发人员：董福庆，沈添沐，何荣振，吴佩珊，陈家铭，陈冠州，简荣祯，梁沐旺，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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