训练模型的制作方法、激光装置和电子器件的制造方法制造方法及图纸

训练模型的制作方法包含以下步骤：通过蓄积如下数据来制作数据库，该数据是在对激光装置的电装系统硬件和软件进行模型化而得到的数字孪生上损坏激光装置内的部件，并将已破坏的部件和数字孪生所输出的不良现象对应起来而成的数据；以及以接收不良现象的信息的输入并输出与输入对应的故障部位的信息的方式将数据库内的数据用作机器学习的训练用数据而对训练模型进行训练。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及训练模型的制作方法、激光装置和电子器件的制造方法。

技术介绍

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，为350～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这样的紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时会产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件（标准具、光栅等）的窄带化模块（line narrowing module：lnm）。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：美国专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种训练模型的制作方法，其包含以下步骤：

2.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

3.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

4.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

5.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

6.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

7.根据权利要求6所述的训练模型的制作方法，其中，

8.根据权利要求6所述的训练模型的制作方法，其中，

9.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

10.根据权利要求9所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种训练模型的制作方法，其包含以下步骤：

2.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

3.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

4.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

5.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

6.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

7.根据权利要求6所述的训练模型的制作方法，其中，

8.根据权利要求6所述的训练模型的制作方法，其中，

9.根据权利要求1所述的训练模型的制作方法，其中，

10.根据权利要求9所述的训...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田法正，阿部邦彦，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：