【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及低温制冷，尤其涉及一种低温泵再生方法。
技术介绍
1、低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵，用低温介质（例如氦气）将抽气面冷却到20k以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽气作用。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。低温泵在工作一段时间以后，吸附伞由于被吸附气体覆盖而饱和，对气体吸附作用会逐渐减弱，最后失去了吸附作用。因此在使用低温泵时，每过一段时间就要对低温泵进行加热和除气，此即所谓的“再生”。如何“再生”对于低温泵的有效使用至关重要，一定程度上影响使用真空泵的企业的生产效率和生产质量。
2、通常当有下述情况发生时，需要启动低温泵的重生程序：1.低温泵二级冷头温度超过20k；2.低温泵抽速降至初始抽速的50%；3.系统主阀和进气阀关闭后，5分钟真空度达不到10-4pa。
3、常规的低温泵重生方法存在的问题在于，在制冷机一级...
【技术保护点】
1.一种低温泵再生方法，包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的低温泵再生方法，如果低温泵腔体内部压力变化速度小于1.33Pa/min，则表明通过保压测试。
【技术特征摘要】
1.一种低温泵再生方法，包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的低温泵再生...
【专利技术属性】
技术研发人员：何放，梁志炜，杜希阳，
申请(专利权)人：氢合科技广州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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