【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学平板旋转微扫描显微热成像系统的微扫描 零点定标方法，属于红外热成像领域，可解决已研制光学微扫描显微 热成像系统实用化的关键问题，提高系统的空间分辨力，该光学微扫 描显微热成像系统可用于微电子芯片及其电路设计和故障检测、生物 医学显微热成像分析、科学研究等领域，提供高分辨力微细热分析的 技术手段。
技术介绍
热成像技术目前在工业检测、医学诊断和科学研究等领域己获得 广泛的应用，成为有效的热诊断工具。但目前大多数热成像系统为望 远工作模式，不适宜应用在需要显微分析和检测的场合，影响了对事 物的认识和故障的分析。而实际却有许多需要显微热分析和检测的场 合。例如，在微电子集成芯片及其电路的设计、可靠性分析以及缺陷 检测中，需要利用显微热成像技术进行非接触测量诊断；在生物医学 诊断中，需要利用显微热成像技术对癌细胞的诊断与生长分析提供技 术手段等。为了满足上述领域的需要，国外90年代开始推出显微热成像系 统。由于显微热成像属于放大成像，要求探测器具有较高的热灵敏度， 因此，国外显微热成像系统的核心部件大多基于制冷型红外探测器， 所以国外的显微热成像系...
【技术保护点】
一种零点定标方法，其特征在于：以旋转台测试零点为起点，采集第一幅图像，然后顺时针选转９０°采集第二幅图像；利用频率域图像配准技术计算两幅图像之间的微位移，然后基于几何原理和标准２×２微扫描原理确定到微扫描器零点需要旋转的角度和方向； 角度和方向共分为如下四种情况： ①ｘ＞０，ｙ＞０，顺时针旋转光学平板∠１＝∠４＝ａｒｃｔｇｙ／ｘ度； ②ｘ＞０，ｙ＜０，逆时针旋转∠１＝ａｒｃｔｇ｜ｙ｜／ｘ度； ③ｘ＜０，ｙ＜０，逆时针旋转∠１＝１８０°－∠ａｒｃｔｇｙ／ ｘ度； ④ｘ＜０，ｙ＞０，顺时针旋转∠１＝１８０°－∠ａｒｃｔｇｙ／｜ｘ｜度...
【技术特征摘要】
1、一种零点定标方法，其特征在于以旋转台测试零点为起点，采集第一幅图像，然后顺时针选转90°采集第二幅图像；利用频率域图像配准技术计算两幅图像之间的微位移，然后基于几何原理和标准2×2微扫描原理确定到微扫描器零点需要旋转的角度和方向；角度和方向共分为如下四种情况①x>0，y>0，顺时针旋转光学平板度；②x>0，y<0，逆时针旋转度；③x<0，y<0，逆时针旋转度；④x<0，y>0，顺时针旋转度；特例①若则将光学平板顺时针旋转90°即可；②若则将光学平板逆时针旋转90°即可；③若则将光学平板逆时针旋转180°即可；④若则将光学平板顺时针旋转90°即可；其中旋转的角度均是在旋转台测试零点位置1’上开始旋转。2、 如权利要求1所述的一种零点定标方法，其特征在于其微扫描零点定标 的定义为标准2x2微扫描模式下采集第一幅欠采样图像的位置。3、 一种零点定标方法在光学平板旋转微扫描显微热成像系统的应用，其特 征在于其应用步骤如下(1) 通过红外显微物镜和红外光学平板将物体的红外辐射图像成像到红外 焦平面探测器上；(2) 利用微扫描控制器旋转光学平板到旋转台测试零点位置；(3) 以步骤(2)中的旋转台测试零点为起点，采集第一幅图像，然后顺时针选转90。采集第二幅图像；(4) 利用频率域图像配准技术计算两幅图像之间的微位移，然后基于几何原理和标准2x2微扫描原理确定到微扫描...
【专利技术属性】
技术研发人员：高美静，金伟其，王霞，王岭雪，于杰，刘广荣，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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