成像装置及检测设备制造方法及图纸

本申请涉及成像检测技术领域，具体公开了一种成像装置及检测设备，包括光源模块、分光棱镜、色散镜头组以及线扫相机；所述光源模块的出光侧设有出光板，所述出光板上开有条形狭缝，光源模块发出的白光从条形狭缝衍射出射并经分光棱镜反射入射色散镜头组，所述色散镜头组使白光分解成线性色散光；所述线性色散光可聚焦在待测物表面并经待测物表面反射并依次透射色散镜头组、分光棱镜后入射线扫相机，使得线扫相机成像。本申请能够在可见光波长范围内实现自动对焦，实现实时扫描检测，不仅提高检测效率，还能够有效提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及成像检测，具体而言，涉及一种成像装置及检测设备。

技术介绍

1、在半导体成像检测领域中，由于半导体制程中待测表面凹凸不平，最高位置和最低位置的高度差较大，此时需要大景深镜头才能对此表面进行清晰成像，而高分辨率和大景深在镜头设计中是相互对立的关系，不可能同时进行兼顾，故在半导体成像检测中镜头一般优先保证高精度的检测要求，此时景深难以满足一次拍照即可对待测表面均进行清晰成像的要求，故需要移动相机或者待测物上下位置进行多次拍照，此时才能对所有高度上的细节均进行清晰成像。现有技术中一般不移动待测物，而选择移动相机的上下位置以实现自动对焦的功能，此时通过外部马达根据图像清晰度的变化来带动相机上下移动来实现自动对焦功能，这种技术需要对采集到的图像先进行分析判断清晰度，再根据清晰度调整马达移动图像传感器的上下位置，使之移动到合理清晰度的位置进行再次采图，这种方式需要逐步逼近迭代才能达到较好的效果。因此现有技术响应比较慢，无法达到实时调整自动对焦的功能，难以满足半导体或者芯片领域中的检测要求。

技术实现思路

1、本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种成像装置(100)，其特征在于，包括光源模块(101)、分光棱镜(102)、色散镜头组(103)以及线扫相机(104)；所述光源模块(101)的出光侧设有出光板(105)，所述出光板(105)上开有条形狭缝(106)，光源模块(101)发出的白光从条形狭缝(106)衍射出射并经分光棱镜(102)反射入射色散镜头组(103)，所述色散镜头组(103)使白光分解成线性色散光；所述线性色散光可聚焦在待测物表面(107)并经待测物表面(107)反射并依次透射色散镜头组(103)、分光棱镜(102)后入射线扫相机(104)，使得线扫相机(104)成像。

2.根据权利要求1所述的...

【技术特征摘要】

1.一种成像装置(100)，其特征在于，包括光源模块(101)、分光棱镜(102)、色散镜头组(103)以及线扫相机(104)；所述光源模块(101)的出光侧设有出光板(105)，所述出光板(105)上开有条形狭缝(106)，光源模块(101)发出的白光从条形狭缝(106)衍射出射并经分光棱镜(102)反射入射色散镜头组(103)，所述色散镜头组(103)使白光分解成线性色散光；所述线性色散光可聚焦在待测物表面(107)并经待测物表面(107)反射并依次透射色散镜头组(103)、分光棱镜(102)后入射线扫相机(104)，使得线扫相机(104)成像。

2.根据权利要求1所述的成像装置(100)，其特征在于，所述光源模块(101)为led灯板(108)；所述出光板(105)与所述led灯板(108)之间设有匀光板件(109)，所述led灯板(108)产生的白光透过所述匀光板件(109)后从条形狭缝(106)出射。

3.根据权利要求2所述的成像装置(100)，其特征在于，所述led灯板(108)上设置有多个沿条形狭缝(106)延伸方向排布的白光led器件，所述白光led器件的排布距离、条形狭缝(106)的长度以及匀光板件(109)在条形狭缝(106)方向上的延伸距离一致。

4.根据权利要求2所述的成像装置(100)，其特征在于，所述条形狭缝(106)的长度为50-100mm，条形狭缝(106)的宽度为10-50μm。

5.根据权利要求2所述的成像装置(100)，其特征在于，所述led灯板(108)的背光面设置有散热结构(110)。

6.根据权利要求1-5任一项所述的成像装置(100)，其特征在于，还包括光源调节模块(111)，所述光源调节模块(111)包括第一调节台(11...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊志勇，成剑华，王晓南，吴晶，
申请(专利权)人：武汉中观自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：