【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空泵系统，尤其涉及一种集成式真空系统。
技术介绍
1、很多真空应用领域中，仅仅依靠一台真空泵并不能完全实现实际的工艺需求，不同类型的真空泵可以实现的最具性价比的极限真空或抽气能力是完全不同的，不同类型的真空泵对抽吸的不同工艺介质也具有不同的适应性，并且不同的真空工艺，还需要配备各种辅助的系统才能确保真空泵或者真空泵组可以稳定，可靠的运行。
2、其中，如现有技术中，申请号为：202210470415.x，专利名称为：一种高度集成的真空集成系统，其存在以下不足：
3、1.采用底部的固定方式，同时，安装和拆卸的时候，受到箱体的限制，安装、拆卸的时候，采用的是逐个真空泵安装或者拆卸，非常的不方便，同时，真空泵安装的时候，还会收到箱体的限制，安装不方便；
4、2.两个真空泵采用的是罗茨真空泵和干式真空泵，这两种真空泵的抽真空效果不是很好，对于需要更高真空度的场合，难以满足；
5、3.对于粉尘或者工作杂质容易堆积在两个真空泵的连接处，从而导致真空泵的维修率高，使用寿命短；
<...【技术保护点】
1.一种集成式真空系统，其特征在于：包括箱体、设置于箱体内的第一真空泵及第二真空泵，所述第二真空泵的顶部经一安装板与所述第一真空泵的底部相连，所述箱体的两侧分别设有一横梁，所述第一真空泵的两侧分别经支撑脚与所述横梁相连；
2.根据权利要求1所述的集成式真空系统，其特征在于：所述第一真空泵的两侧分别设置有至少一朝外延伸的所述支撑脚，每一所述支撑脚分别设置于对应所述横梁的正上方；
3.根据权利要求1所述的集成式真空系统，其特征在于：所述安装板的外壁上设有至少一氮气吹扫进口及至少一氮气吹扫出口与所述连接口相连通；
4.根据权利要求1所述的...
【技术特征摘要】
1.一种集成式真空系统，其特征在于：包括箱体、设置于箱体内的第一真空泵及第二真空泵，所述第二真空泵的顶部经一安装板与所述第一真空泵的底部相连，所述箱体的两侧分别设有一横梁，所述第一真空泵的两侧分别经支撑脚与所述横梁相连；
2.根据权利要求1所述的集成式真空系统，其特征在于：所述第一真空泵的两侧分别设置有至少一朝外延伸的所述支撑脚，每一所述支撑脚分别设置于对应所述横梁的正上方；
3.根据权利要求1所述的集成式真空系统，其特征在于：所述安装板的外壁上设有至少一氮气吹扫进口及至少一氮气吹扫出口与所述连接口相连通；
4.根据权利要求1所述的集成式真空系统，其特征在于：所述箱体包括支架及设安装于支架外部的外罩；
5.根据权利要求1所述的集成式真空系统，其特征在于：所述第一真空泵为双级罗茨真空泵，所述第一真空泵包括内部具有第一罗茨泵体腔的第一罗茨泵体、转动安装于所述第一罗茨泵体腔内且相互平行的两根第一连轴及驱动两根所述第一连轴同时转动的第一驱动部件，所述第一罗茨泵体腔内设有两个相互啮合的第一罗茨转子部件，每一所述第一罗茨转子部件分别安装于一根所述第一连轴上；
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【专利技术属性】
技术研发人员：荣易，陆培丰，
申请(专利权)人：苏州新大陆精密科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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