密封组件及阀门制造技术

本发明专利技术提供一种密封组件及阀门，涉及生产制造技术领域。密封组件包括：密封板包括远离外部的阀体的第一端以及靠近阀体的第二端；第一端与驱动机构连接；驱动机构用于带动密封板在阀体的内部封闭位置和外部封闭位置之间移动；在密封板位于外部封闭位置的情况下，第一端连接外部的压力组件的目标面，以基于压力组件对阀体的阀口进行外部密封；第一端和目标面中的一者设置有第一凸起结构，另一者设置有可容纳第一凸起结构的第一凹槽结构；在密封板位于外部封闭位置的情况下，第一凹槽结构容纳第一凸起结构，并于其中形成第一导流流道。本发明专利技术的技术效果为：通过形成的流道结构提高密封组件进行密封时的密封度，使密封组件适用于高温、腐蚀等环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及生产制造，具体而言，涉及一种密封组件及阀门。

技术介绍

1、在半导体元件等器件的制备过程中，通常会涉及到高温反应介质，目前制备过程中使用的阀门装置通常采用橡胶圈等密封件进行密封，但是，橡胶圈这类密封件，在阀门装置所在的高温环境下工作的情况下容易发生熔化、老化或损坏的情况，从而导致阀门装置的密封功能失效，无法满足相关器件的制备要求。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术实施例的目的在于提供一种密封组件及阀门，以改善现有技术中存在的高温情况下阀门密封功能较差的问题。

2、为了解决上述问题，第一方面，本专利技术实施例提供了一种密封组件，所述密封组件包括：密封板和驱动机构；

3、所述密封板包括远离外部的阀体的第一端以及靠近所述阀体的第二端；

4、所述第一端与所述驱动机构连接；所述驱动机构用于带动所述密封板在阀体的内部封闭位置和外部封闭位置之间移动；

5、在所述密封板位于所述外部封闭位置的情况下，所述密封板的所述第一端连接外部的压力组件的目标面，以基于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种密封组件，其特征在于，所述密封组件包括：密封板和驱动机构；

2.根据权利要求1所述密封组件，其特征在于，位于所述第一端的所述第一凸起结构或所述第一凹槽结构围绕所述驱动机构设置；

3.根据权利要求1所述密封组件，其特征在于，其中，所述第一凸起结构和所述第一凹槽结构包括：梯形体、三角体、圆锥体、圆台体或半球体中的任意一种。

4.根据权利要求1-3任一项所述的密封组件，其特征在于，其中，所述第一设定阈值通过以下方式确定：

5.一种阀门，其特征在于，所述阀门包括：阀体、驱动组件、压力组件以及权利要求1-4中任一项所述的密封组件；

...

【技术特征摘要】

1.一种密封组件，其特征在于，所述密封组件包括：密封板和驱动机构；

2.根据权利要求1所述密封组件，其特征在于，位于所述第一端的所述第一凸起结构或所述第一凹槽结构围绕所述驱动机构设置；

3.根据权利要求1所述密封组件，其特征在于，其中，所述第一凸起结构和所述第一凹槽结构包括：梯形体、三角体、圆锥体、圆台体或半球体中的任意一种。

4.根据权利要求1-3任一项所述的密封组件，其特征在于，其中，所述第一设定阈值通过以下方式确定：

5.一种阀门，其特征在于，所述阀门包括：阀体、驱动组件、压力组件以及权利要求1-4中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，张毅，宋铠钰，贾媛滢，王蓉，
申请(专利权)人：四川九天真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载 我是这个专利的主人