一种大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置及工艺制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置及工艺，装置包括等离子体发生器和清洗平台；等离子体喷头的直径范围50‑150mm，高压高频交流电源通过等离子体喷头内部的放电电极向放电间隙施加高频交流电压，间隙击穿产生等离子体，并在气流的作用下喷射，形成直径50‑150mm的大体积等离子体射流，可以直接对不锈钢电极进行清洗；清洗平台为带有导轨的移动底座，移动底座用于承载等离子体发生器或待清洗的不锈钢电极，并控制等离子体发生器或不锈钢电极沿导轨的运动速度、运动方向和停留时间，本发明专利技术还利用电极样品和检测样片，分析不同外施参数下不锈钢电极表面污染物的去除率，形成明确清晰的清洗工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于金属清洗，涉及不锈钢电极的清洗，特别涉及一种大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置及工艺。

技术介绍

1、金属清洗是金属制件在加工、装配、储存和维修等过程中，以及在喷涂、电镀和上釉等加工过程前不可或缺的工艺环节。合理的清洗工艺可以有效地清除金属表面附着的各种污垢和杂质，对于不锈钢电极这类精密部件而言，其清洗效率和效果更是至关重要。

2、基于特有的高能粒子和活性成分，等离子体清洗对清除金属表面碳氢污染物和吸附气体具有明显的优势。但是，另一方面，在ma/cm量级大电流密度条件下，不锈钢电极表面吸附气体或者附着物质会被电离或在电子、离子轰击下形成电极等离子体，这些电极等离子体的形成和扩张会对真空传输线功率传输和电流损失会产生显著影响。

3、现有技术中，采用低气压辉光放电等离子体对不锈钢电极表面进行清洗，可去除电极表面的附着物质，延迟和降低电极等离子扩张速率，从而提高大电流密度下电流传输效率。由于在低气压下，气体密度比较低，可以产生均匀等离子体，同时气体的温度不高，使得低气压等离子体在清洗方面得到广泛应用。但是低气压等离子体清洗工本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置，其特征在于，包括等离子体发生器和清洗平台(5)；所述等离子体发生器包括高压高频交流电源(1)、压缩气瓶(2)和等离子体喷头(3)；所述等离子体喷头(3)的前端布置有多个等离子体喷射孔；

2.根据权利要求1所述大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置，其特征在于，所述高压高频交流电源(1)施加的高频交流电压，其电压15kV-20kV，频率25k-35kHz，放电功率550W-750W，所述等离子体发生器产生的等离子体尺寸50-150mm，满足大气压等离子体清洗所需的要求。

3.根据权利要求1所述大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置...

【技术特征摘要】

1.一种大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置，其特征在于，包括等离子体发生器和清洗平台(5)；所述等离子体发生器包括高压高频交流电源(1)、压缩气瓶(2)和等离子体喷头(3)；所述等离子体喷头(3)的前端布置有多个等离子体喷射孔；

2.根据权利要求1所述大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置，其特征在于，所述高压高频交流电源(1)施加的高频交流电压，其电压15kv-20kv，频率25k-35khz，放电功率550w-750w，所述等离子体发生器产生的等离子体尺寸50-150mm，满足大气压等离子体清洗所需的要求。

3.根据权利要求1所述大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置，其特征在于，所述等离子体喷头(3)内部的放电间隙距离范围3-4mm，气流速度10-20l/min，气流压力150-200kpa。

4.根据权利要求1所述大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置，其特征在于，所述等离子体喷头(3)的直径范围50-150mm，产生直径50-150mm的大气压等离子体射流；所述等离子体喷射孔的孔径范围3-4mm，喷射孔为7-13个，均匀分布在喷头一圈，相邻两个喷射孔的夹角为30°-60°。

5.根据权利要求1所述大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张佳，党孟佳，巴永汕，李庆开，罗城，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：