一种基于点云数据的晶锭三维重建方法技术

本发明专利技术涉及一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，包括以下步骤：步骤1：数据采集，使用采集设备从适当角度采集目标晶锭的点云数据，同时将数据以TXT格式文件保存；步骤2：数据预处理，对采集的点云数据进行格式转换，对点云数据进行对齐与融合，通过整合不同视角的数据获取完整的三维信息；步骤3：网格与表面重建，通过可以调整的参数估计法线，生成多边形网格，通过多边形网格生成光滑连续的表面；步骤4：模型后处理，对生成的三维模型进行优化和修复工作，获得更真实的视觉效果模型。包括本发明专利技术能降低数据采集难度，提高重建准确性，且可根据实际需求灵活调整重建准确性与速度，提高流程效率，扩展使用范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及属于晶锭三维模型重建领域，尤其涉及一种基于点云数据的晶锭三维重建方法。

技术介绍

1、晶锭(例如碳化硅晶锭)是半导体工业中用于制造晶圆的重要材料。为了确保晶圆的质量和制造过程的精确性，对晶锭进行详细的几何形状测量和分析是必要的。传统的测量方法通常包括机械接触式测量和光学测量。然而，这些方法在测量速度、精度和全面性方面存在一定的局限性。例如，机械接触式测量方法由于需要直接接触晶锭表面，容易造成表面损伤，并且测量速度较慢。光学测量方法虽然提高了测量速度，但在处理复杂形状和细节方面仍存在困难。

2、近年来，随着计算机视觉和3d扫描技术的进步，利用3d点云技术对物体进行三维重建和测量的方法逐渐受到关注。3d点云技术通过获取物体表面的离散点集，构建出其三维形状。这种技术在非接触式测量、细节捕捉和速度方面具有显著优势，在晶锭检测中，3d点云重建技术通过传感器扫描或结构光扫描等手段获取晶锭表面的点云数据。然后，通过一系列算法对点云数据进行处理，包括去噪、配准、拼接和重建等，最终生成高精度的三维模型。该三维模型能够提供关于晶锭的全面几何信息，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于：采集设备包括光谱共焦传感器、激光扫描设备或结构光扫描设备；

3.根据权利要求1所述的一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于：TXT格式文件中的每一行是一个点的XYZ三维坐标数据。

4.根据权利要求1所述的一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于：步骤2中数据预处理包括滤波去除离群点、下采样减少数据量、神经网络提取局部特征、对于过于稀疏的点云数据采用数据增强补全点云数据，将处理后的数据转换成数据格式。

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【技术特征摘要】

1.一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于：采集设备包括光谱共焦传感器、激光扫描设备或结构光扫描设备；

3.根据权利要求1所述的一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于：txt格式文件中的每一行是一个点的xyz三维坐标数据。

4.根据权利要求1所述的一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于：步骤2中数据预处理包括滤波去除离群点、下采样减少数据量、神经网络提取局部特征、对于过于稀疏的点云数据采用数据增强补全点云数据，将处理后的数据转换成数据格式。

5.根据权利要求1所述的一种基于点云数据的晶锭三维重建方法，其特征在于：对点云数据进行对齐、融合与去噪具...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭博方，张申，
申请(专利权)人：苏州芯澈半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：