一种连续光超分辨3D石英玻璃制备方法技术

本发明专利技术公开一种连续光超分辨3D石英玻璃制备方法，利用两种不同波长的连续光束(激发光与促进光)在双色双步吸收光刻胶中产生自由基，结合促进光束在聚合过程中的光力效应，实现三维结构的超分辨刻写，并且采用笼型聚倍半硅氧烷单体与阻聚剂，实现在650℃下褪火形成3D石英玻璃结构。利用以上原理，将不同波长激发光与促进光束先进行合束，而后通过光束扫描系统入射到成像面，形成激发光与促进光中心重合的刻写点，在双色双步吸收与光力作用的共同作用下，实现超分辨3D石英玻璃的制备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于超分辨激光纳米直写光刻领域，尤其涉及一种连续光超分辨3d石英玻璃制备方法。

技术介绍

1、微纳光学结构制造技术的创新对高端制造业的发展具有重要意义，早期微纳光学器件的材料都以有机聚合物为主，然而热稳定性差、易黄化、机械性能差等问题阻碍了进一步的发展。石英玻璃(二氧化硅)材料具有光学透明度高、熔点高、热膨胀系数低、物理化学性能稳定等诸多优势，是制备光学器件的最佳材料之一。不过，石英玻璃材料因其熔化温度高以及硬脆材料的特性，使其难以热成型和机械加工，因而复杂结构的石英玻璃器件无法通过高温熔融法、化学合成法等常规制备技术获得。近十年来，随着制造技术与材料研究的不断突破，高温烧结去除粘合剂等方法的出现，为石英玻璃材料的3d制造推开了新的大门。

2、目前微纳石英玻璃结构的制造正处于一个快速发展阶段，然而面向真正的实用化，各类技术仍然面临3d刻写分辨率、效率、表面粗糙度共同提升的需求。相比于其他刻写技术，双光子激光直写技术所能实现的刻写分辨率远小于其他技术，并且笼型聚倍半硅氧烷(poss)单体与光引发剂组合的模式，将给与该技术获得更小尺寸的机本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种连续光超分辨3D石英玻璃制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激发光的波长范围为400nm至800nm，所述促进光的波长范围为400nm至800nm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述双色双步吸收光引发剂为苯偶酰或2,3-丁二酮。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述阻聚剂为癸二酸双(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基-1-氧基)酯或2,2,6,6-四甲基-1-氧化哌啶。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述双色双步吸收光引发剂、笼型聚倍半硅氧烷单体和阻聚剂的质...

【技术特征摘要】

1.一种连续光超分辨3d石英玻璃制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激发光的波长范围为400nm至800nm，所述促进光的波长范围为400nm至800nm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述双色双步吸收光引发剂为苯偶酰或2,3-丁二酮。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述阻聚剂为癸二酸双(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基-1-氧基)酯或2,2,6,6-四甲基-1-氧化哌啶。

5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐良，丁晨良，匡翠方，温积森，朱大钊，刘旭，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：