【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体的工业自动化，尤其涉及一种晶圆映射机构。
技术介绍
1、半导体制造工厂中，晶圆通常需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，wafersorter(晶圆传输机)正是完成这一任务的关键装备，是连接不同工艺模块的桥梁，能够使晶圆在不受污染的条件下被准确的传输。
2、wafersorter(晶圆传输机)至少包括用于存储晶圆的晶圆盒(frontopeningunifiedpod，简称foup)、用于承载晶圆盒的装载端口(loadport)以及用于将晶圆从晶圆盒内取出和收纳至晶圆盒内的操作机械手，该装载端口包括开门器和设置在开门器上的承载机构，当半导体生产线上的运输小车将晶圆盒(foup)移至装载端口前，通过人工或机械收将晶圆盒放置到装载端口的承载机构上，然后由开门器执行晶圆盒的开盒动作，进而由操作机械手取出晶圆盒内的晶圆在不同的装载端口(loadport)之间进行相互传输。
3、相关技术中，晶圆装载端口装置对晶圆存储载体操作前需要将晶圆盒内的晶圆进行mapping(扫描映射)，并将mapping(扫描映射)的数值反馈到系统进行比对，确定相关制程的安全性。mapping(扫描映射)时，会侦测晶圆盒内晶圆的相关状态如double片(叠片)，cross片(斜片)及晶圆的有无状态等。然而，相关技术中用于扫描映射的晶圆映射机构其整体结构刚度不好，扫描映射过程结构晃动幅度大，数据结果不准确。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种晶圆映射机构，用以
2、本专利技术提供一种晶圆映射机构，包括：
3、固定座；
4、运动组件，所述运动组件包括运动支架和传动单元，所述运动支架与所述传动单元连接，且所述传动单元与所述固定座活动连接；
5、驱动组件，所述驱动组件与所述固定座相连接，所述驱动组件的输出端与所述传动单元传动连接；
6、晶圆传感器组件，用于检测晶圆的状态信息，所述晶圆传感器组件包括晶圆传感器发射端和晶圆传感器接收端，所述晶圆传感器发射端和所述晶圆传感器接收端均固定设于所述运动支架且二者对齐设置。
7、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述传动单元包括：
8、第一传动杆组，所述第一传动杆组的一端与所述运动支架转动连接；
9、第二传动杆组，所述第一传动杆组和所述第二传动杆组间隔设置，所述第二传动杆组的一端与所述运动支架转动连接；
10、其中，所述第一传动杆组的另一端和所述第二传动杆组的另一端二者均与所述固定座转动连接，且所述第一传动杆组与所述驱动组件的输出端传动连接。
11、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述第一传动杆组包括：
12、第一连杆，所述第一连杆的一端与所述运动支架转动连接，所述第一连杆的另一端设有第一通孔和位于所述第一通孔处的第一盖板，所述第一盖板与所述第一连杆相对固定设置；
13、第一转轴，所述第一转轴可转动地连接于所述固定座，所述第一连杆通过所述第一通孔外套于所述第一转轴，所述第一转轴的一端与所述第一盖板固定连接，且所述驱动组件的输出端与所述第一转轴的另一端传动连接；
14、其中，所述第一盖板和所述第一转轴二者中的一个设有第一凹位，所述第一盖板和所述第一转轴二者中的另一个设有第一凸起，所述第一凹位和所述第一凸起卡接配合。
15、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述第一转轴包括第一轴件和第一杆件，所述第一轴件与所述第一杆件的一端固定连接，所述第一杆件用于限制所述第一轴件相对于所述固定座轴向移动，所述第一杆件的另一端与所述驱动组件的输出端传动连接；
16、其中，所述第一轴件和所述第一杆件二者中的一个设有第二凹位，所述第一轴件和所述第一杆件二者中的另一个设有第二凸起，所述第二凹位和所述第二凸起卡接配合。
17、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述第二传动杆组包括：
18、第二连杆，所述第二连杆的一端与所述运动支架转动连接，所述第二连杆上设有过线腔；
19、第二转轴，所述第二转轴可转动地连接于所述固定座，所述第二转轴与所述第二连杆固定连接；
20、其中，所述第二转轴上设有过线通道，所述过线通道与所述过线腔连通。
21、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述第二连杆包括杆体和盖体，所述杆体和所述盖体固定连接，所述杆体和所述盖体配合形成过线腔，且所述杆体的一端与运动支架转动连接；
22、所述第二转轴外壁设有环形定位板，所述环形定位板上设有定位凹位，所述盖体的一端设有定位凸起，所述定位凸起与所述定位凹位卡接配合，以使得所述盖体和所述第二转轴同步联动，且所述杆体设有配合通孔，所述配合通孔的内径小于所述环形定位板的外径。
23、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述晶圆映射机构包括到位传感器和挡片，所述挡片与所述到位传感器感应配合，以输出所述运动组件的运动信息；
24、所述第二转轴上对应所述过线通道的侧壁上开设有定位凹槽，所述挡片套设于所述第二转轴的侧壁上，且所述挡片与所述定位凹槽卡接配合。
25、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述固定座上设有限位结构，所述限位结构用于限制所述运动组件的运动范围。
26、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述限位结构包括间隔设置的第一限位柱和第二限位柱，所述第一限位柱位于所述第一传动杆组的一侧，所述第二限位柱位于所述第二传动杆组的另一侧。
27、根据本专利技术提供的一种晶圆映射机构，所述驱动组件包括：
28、气缸本体，所述气缸本体与所述固定座固定连接，所述气缸本体具有可往复运动的活塞杆；
29、驱动推杆，所述驱动推杆的一端与所述活塞杆连接，所述驱动推杆的另一端设有凸轮，所述凸轮与所述传动单元传动连接。
30、本专利技术提供的一种晶圆映射机构，工作时，通过驱动组件驱动传动单元运动，以带动装有晶圆传感器组件的运动支架随之运动，通过晶圆传感器组件的运动从而检测晶圆盒内的晶圆状态信息(例如：如double片(叠片)，cross片(斜片)及晶圆的有无状态等)，由于晶圆传感器发射端和晶圆传感器接收端固定于同一运动支架的，始终处于对齐状态，晶圆状态信息的数据更可靠，稳定性更好。
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1.一种晶圆映射机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述传动单元(220)包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第一传动杆组包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第一转轴(222)包括第一轴件(2221)和第一杆件(2222)，所述第一轴件(2221)与所述第一杆件(2222)的一端固定连接，所述第一杆件(2222)用于限制所述第一轴件(2221)相对于所述固定座(100)轴向移动，所述第一杆件(2222)的另一端与所述驱动组件(300)的输出端传动连接；
5.根据权利要求2所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第二传动杆组包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第二连杆(223)包括杆体(2232)和盖体(2233)，所述杆体(2232)和所述盖体(2233)固定连接，所述杆体(2232)和所述盖体(2233)配合形成过线腔(2231)，且所述杆体(2232)的一端与运动支架(210)转动连接；
7.
8.根据权利要求2所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述固定座(100)上设有限位结构，所述限位结构用于限制所述运动组件(200)的运动范围。
9.根据权利要求8所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述限位结构包括间隔设置的第一限位柱(710)和第二限位柱(720)，所述第一限位柱(710)位于所述第一传动杆组的一侧，所述第二限位柱(720)位于所述第二传动杆组的另一侧。
10.根据权利要求1所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述驱动组件(300)包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆映射机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述传动单元(220)包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第一传动杆组包括：
4.根据权利要求3所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第一转轴(222)包括第一轴件(2221)和第一杆件(2222)，所述第一轴件(2221)与所述第一杆件(2222)的一端固定连接，所述第一杆件(2222)用于限制所述第一轴件(2221)相对于所述固定座(100)轴向移动，所述第一杆件(2222)的另一端与所述驱动组件(300)的输出端传动连接；
5.根据权利要求2所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第二传动杆组包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆映射机构，其特征在于，所述第二连杆(223)包括杆体(2232)和盖体(2233)，所述杆体(2232)和所述盖体(2233)固...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宁宁，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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