物理参数估计方法、装置和电子设备制造方法及图纸

技术编号:42633620 阅读:31 留言:0更新日期:2024-09-06 01:33
本申请涉及一种物理参数估计方法、装置和电子设备。该物理参数估计方法包括:获取干涉条纹图;确定所述干涉条纹图的预定行或者预定列作为代表信号;使用分数傅里叶变换方法处理所述代表信号确定匹配旋转角和峰值位置的粗估计值;使用三角收缩法从所述干涉条纹图基于匹配旋转角和峰值位置的粗估计值确定所述干涉条纹图对应的匹配旋转角和峰值位置的精确估计值;以及,基于所述干涉条纹图对应的匹配旋转角和峰值位置的精确估计值确定待估计的物理参数。这样,通过结合用于确定预定行/列的粗搜和使用三角收缩法的精搜,可以有效地兼顾物理参数的估计精度和估计速度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及干涉测量,更为具体地说,涉及一种物理参数估计方法、装置和电子设备


技术介绍

1、干涉测量技术因其非接触、高精度的测量特性,已被广泛应用在各种工程实际中,可以测量诸如曲率半径、波长、折射率、表面轮廓等物理参数。由于干涉测量技术可以在测量曲率半径的同时对光学元件表面面形进行测量,因此干涉测量技术成为目前应用最广泛的一种曲率半径测量方法。由于干涉测量技术的测量结果都是直接以条纹图形式给出,因此干涉测量技术的一个关键环节是分析处理所采集的干涉条纹图。一般地,干涉条纹图可以由两类基本条纹组成,一类是等间隔均匀分布的干涉条纹,另一类是具有二次相位分布的闭合条纹。通常情况下,二次相位闭合条纹图其强度分布规律可数学描述为:

2、

3、且

4、

5、其中,ib表示条纹图背景强度,ia表示条纹图调制强度,表示包含被测量物理信息的条纹图相位。一般地,由于条纹图其背景强度和调制强度相对于相位的余弦函数来说变化较慢,背景强度和调制强度通常近似表示为常数。

6、在信号处理领域,此类具有二次相位分布的闭合条纹图也可本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种物理参数估计方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的物理参数估计方法,其中,确定所述干涉条纹图的预定行或者预定列作为代表信号包括:

3.根据权利要求2所述的物理参数估计方法,其中,在对所述干涉条纹图进行灰度阈值分割之后进一步包括:

4.根据权利要求1所述的物理参数估计方法,其中,使用分数傅里叶变换方法从所述代表信号确定所述干涉条纹图对应的匹配旋转角和峰值位置的粗估计值包括:

5.根据权利要求1所述的物理参数估计方法,其中,使用三角收缩法从所述干涉条纹图基于匹配旋转角和峰值位置的粗估计值确定所述干涉条纹图对应的匹配旋转角和峰...

【技术特征摘要】

1.一种物理参数估计方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的物理参数估计方法,其中,确定所述干涉条纹图的预定行或者预定列作为代表信号包括:

3.根据权利要求2所述的物理参数估计方法,其中,在对所述干涉条纹图进行灰度阈值分割之后进一步包括:

4.根据权利要求1所述的物理参数估计方法,其中,使用分数傅里叶变换方法从所述代表信号确定所述干涉条纹图对应的匹配旋转角和峰值位置的粗估计值包括:

5.根据权利要求1所述的物理参数估计方法,其中,使用三角收缩法从所述干涉条纹图基于匹配旋转角和峰值位置的粗估计值确定所述干涉条纹图对应的匹配旋转角和峰值位置的精确估计值包括:

6.根据权利要求5所述的物理参数估计方法,其中,所述参数轴...

【专利技术属性】
技术研发人员:武进敏姜盛鲁溟峰范军芳李亚峰纪毅张峰陶然
申请(专利权)人:北京信息科技大学
类型:发明
国别省市:

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