一种真空吸附式制样设备制造技术

本技术公开了一种真空吸附式制样设备，包括移栽组件、裁切件、真空吸附件、真空夹持件、真空供给组件；真空供给组件，包括主供给线路以及与主供给线路连通的至少两个分支线路，主供给线路设置有真空发生装置以及与真空发生装置连接的储压件；储压件用于存储真空发生装置产生的负压，并能够将存储的负压供给至任意一个分支线路；分支线路上设置有控制阀单元，控制阀单元用于控制分支线路的通断；一个分支线路与真空吸附件连接；又一分支线路与真空夹持件连接。本技术的真空吸附式制样设备，用于简化真空吸附件与真空夹持件的真空供给系统，并可瞬时为真空吸附件与真空夹持件供给所需负压。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及制样设备，尤其涉及一种真空吸附式制样设备。

技术介绍

1、外延片是一种常见的用于半导体器件制造的基础材料，在外延片制作完成后通常需要对外延片进行测试。在测试过程中需要将外延片切割形成小块的样品，之后将切割后的样品放置于测试设备上进行测试。因此，这就需要采用制样设备将外延片加工形成样品。

2、制样设备为实现对外延片的固定以及样品的移取，会设置用于安装外延片的夹持台，以及移栽样品的移取装置。为避免采用夹爪等装置对外延片或样品压紧造成损坏，真空吸附外延片和样品的方式成为了现有制样设备的一种常见方式。但现有的制样设备为使得夹持台与移取装置可以单独产生吸力，会为夹持台和移取装置单独设备一套真空供给系统，成本较高，结构也更为复杂；并且夹持台与移取装置在需要负压供给时，会需要一定的时间使真空发生装置逐步增加真空度至所需标准，不便于外延片的安装和样品的移取。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种真空吸附式制样设备，用于简化真空吸附件与真空夹持件的真空供给系统，并可瞬时为真空吸附件与真空夹持件供给所需负压。

2、本技术的目的采用以下技术方案实现：

3、一种真空吸附式制样设备，包括：

4、移栽组件；

5、裁切件，用于裁切目标产品以获得样品，所述裁切件安装于所述移栽组件；

6、真空吸附件，用于吸附并移栽所述样品，所述真空吸附件安装于所述移栽组件；

7、真空夹持件，用于吸附并固定所述目标产品；

8、真空供给组件，包括主供给线路以及与所述主供给线路连通的至少两个分支线路，所述主供给线路设置有真空发生装置以及与所述真空发生装置连接的储压件；所述储压件用于存储所述真空发生装置产生的负压，并能够将存储的负压供给至任意一个所述分支线路；所述分支线路上设置有控制阀单元，所述控制阀单元用于控制所述分支线路的通断；一个所述分支线路与所述真空吸附件连接；又一所述分支线路与所述真空夹持件连接。

9、优选地，所述控制阀单元包括自动控制阀组件和手动控制阀，所述自动控制阀组件与控制单元连接，且所述控制单元能够控制所述自动控制阀组件的通断，所述手动控制阀与所述自动控制阀组件串联。

10、优选地，所述自动控制阀组件包括相互串联的自动启闭阀和自动调节阀，所述自动启闭阀用于控制与其对应的所述分支线路的通断，所述自动调节阀用于控制与其对应的所述分支线路启闭量。

11、优选地，所述自动启闭阀为气动隔膜阀，所述自动调节阀为电动调节球阀；

12、和/或，所述手动控制阀为手动球阀。

13、优选地，所述分支线路还连通有第一检测支路，所述第一检测支路设置有第一压力传感器，所述第一压力传感器用于检测所述分支线路内的压力，且所述第一压力传感器与所述控制单元连接，以将检测到的压力信号反馈至所述控制单元。

14、优选地，所述第一检测支路在沿所述分支线路的延伸方向上，设置在所述控制阀单元与所述真空夹持件或所述真空吸附件之间；

15、和/或，所述第一检测支路还设置有第一控制阀，所述第一控制阀用于控制所述第一检测支路的启闭。

16、优选地，所述分支线路上还设置有第一过滤器；

17、与所述真空夹持件连接的所述分支线路上设置的所述第一过滤器，设置于所述真空夹持件和与所述真空夹持件对应的所述控制阀单元之间；

18、与所述真空吸附件连接的所述分支线路上设置的所述第一过滤器，设置于所述真空吸附件和与所述真空吸附件对应的所述控制阀单元之间。

19、优选地，所述储压件连通有第二检测支路，所述第二检测支路设置有第二压力传感器，所述第二压力传感器用于检测所述储压件内的压力；

20、所述真空发生装置和所述第二压力传感器均连接控制单元，所述控制单元能够接受所述第二压力传感器检测的压力信号，并控制真空发生装置运动。

21、优选地，所述第二检测支路还设置有第二控制阀，所述第二控制阀用于控制所述第二检测支路的启闭。

22、优选地，所述主供给线路还连接有第二过滤器，所述第二过滤器在沿所述主供给线路的延伸方向上，设置在所述真空发生装置和所述储压件之间；

23、和/或，所述真空发生装置为真空泵，所述储压件为储压罐。

24、与现有技术相比，本技术的有益效果至少包括：

25、通过设置具有控制阀单元的分支线路，使真空吸附件和真空夹持件可以共用主供给线路提供的负压，且真空吸附件和真空夹持件可以独立运作，简化真空供给组件的结构；同时，通过设置储压件，使得主供给线路可以提供稳定的负压供给，且可以在真空吸附件或真空夹持件需要负压供给时瞬时提供负压。

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【技术保护点】

1.一种真空吸附式制样设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述控制阀单元(121)包括自动控制阀组件(1211)和手动控制阀(1214)，所述自动控制阀组件(1211)与控制单元连接，且所述控制单元能够控制所述自动控制阀组件(1211)的通断，所述手动控制阀(1214)与所述自动控制阀组件(1211)串联。

3.根据权利要求2所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述自动控制阀组件(1211)包括相互串联的自动启闭阀(1212)和自动调节阀(1213)，所述自动启闭阀(1212)用于控制与其对应的所述分支线路(12)的通断，所述自动调节阀(1213)用于控制与其对应的所述分支线路(12)启闭量。

4.根据权利要求3所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述自动启闭阀(1212)为气动隔膜阀，所述自动调节阀(1213)为电动调节球阀；

5.根据权利要求2所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述分支线路(12)还连通有第一检测支路(122)，所述第一检测支路(122)设置有第一压力传感器(1221)，所述第一压力传感器(1221)用于检测所述分支线路(12)内的压力，且所述第一压力传感器(1221)与所述控制单元连接，以将检测到的压力信号反馈至所述控制单元。

6.根据权利要求5所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述第一检测支路(122)在沿所述分支线路(12)的延伸方向上，设置在所述控制阀单元(121)与所述真空夹持件(5)或所述真空吸附件(4)之间；

7.根据权利要求1所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述分支线路(12)上还设置有第一过滤器(123)；

8.根据权利要求1所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述储压件(112)连通有第二检测支路(113)，所述第二检测支路(113)设置有第二压力传感器(1131)，所述第二压力传感器(1131)用于检测所述储压件(112)内的压力；

9.根据权利要求8所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述第二检测支路(113)还设置有第二控制阀(1132)，所述第二控制阀(1132)用于控制所述第二检测支路(113)的启闭。

10.根据权利要求1所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述主供给线路(11)还连接有第二过滤器(114)，所述第二过滤器(114)在沿所述主供给线路(11)的延伸方向上，设置在所述真空发生装置(111)和所述储压件(112)之间；

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【技术特征摘要】

1.一种真空吸附式制样设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述控制阀单元(121)包括自动控制阀组件(1211)和手动控制阀(1214)，所述自动控制阀组件(1211)与控制单元连接，且所述控制单元能够控制所述自动控制阀组件(1211)的通断，所述手动控制阀(1214)与所述自动控制阀组件(1211)串联。

3.根据权利要求2所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述自动控制阀组件(1211)包括相互串联的自动启闭阀(1212)和自动调节阀(1213)，所述自动启闭阀(1212)用于控制与其对应的所述分支线路(12)的通断，所述自动调节阀(1213)用于控制与其对应的所述分支线路(12)启闭量。

4.根据权利要求3所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述自动启闭阀(1212)为气动隔膜阀，所述自动调节阀(1213)为电动调节球阀；

5.根据权利要求2所述的真空吸附式制样设备，其特征在于，所述分支线路(12)还连通有第一检测支路(122)，所述第一检测支路(122)设置有第一压力传感器(1221)，所述第一压力传感器(1221)用于检测所述分支线路(12)内的压力，且所述第一压力传感器(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡雨，赵高锋，
申请(专利权)人：江苏第三代半导体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：