一种纳米天线路由单元、光谱路由器制造技术

技术编号:42625969 阅读:53 留言:0更新日期:2024-09-06 01:28
本发明专利技术涉及一种纳米天线路由单元、光谱路由器。其中光谱路由器包括纳米天线路由单元,以及两个对称分布在所述纳米天线路由单元两侧的光栅端口;所述纳米天线路由单元包括衬底和在所述衬底上形成的金膜,所述金膜表面具有两个相接的深度互不相同的凹槽,两个所述凹槽用来将不同波段的光分别路由到不同方向后被所述光栅端口接收。本发明专利技术在提高消光比的同时保持了宽带宽,且结构简单,可在等离子光电芯片里集成,提高了器件的集成度,同时降低了制造复杂度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光传感领域,特别是涉及一种纳米天线路由单元和光谱路由器。


技术介绍

1、光谱路由器是计算机科学、化学传感、生物分析和医疗应用等领域不可或缺的器件。可见通讯波段宽带光谱路由器作为通讯波段光信号的路由设备,可以应用于环境监测、交通识别、疾病诊断等领域。目前,高性能的光谱路由器存在尺寸过大、带宽不足等问题,且波段大多在可见光波段,制了其在各种系统中的应用。因此需要专利技术一种工作范围为通讯波段的小尺寸的宽带宽的纳米天线光谱路由器。


技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种纳米天线路由单元、光谱路由器,能够在提高消光比的同时保持宽带宽。

2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种纳米天线路由单元,包括衬底和在所述衬底上形成的金膜,所述金膜表面具有两个相接的深度互不相同的凹槽,两个所述凹槽用来将不同波段的光信号按所述不同波段路由到不同方向。

3、进一步的,两个所述凹槽的深度均小于金膜厚度。

4、进一步的,两个所述凹槽的宽度相同。

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【技术保护点】

1.一种纳米天线路由单元,其特征在于,包括衬底和在所述衬底上形成的金膜,所述金膜表面具有两个相接的深度互不相同的凹槽,两个所述凹槽用来将不同波段的光信号按所述不同波段路由到不同方向。

2.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,两个所述凹槽的深度均小于金膜厚度。

3.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,两个所述凹槽的宽度相同。

4.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,通过P偏振光激发。

5.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,所述不同波段的光信号包括O波段的光信号和C波段的光信号。

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【技术特征摘要】

1.一种纳米天线路由单元,其特征在于,包括衬底和在所述衬底上形成的金膜,所述金膜表面具有两个相接的深度互不相同的凹槽,两个所述凹槽用来将不同波段的光信号按所述不同波段路由到不同方向。

2.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,两个所述凹槽的深度均小于金膜厚度。

3.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,两个所述凹槽的宽度相同。

4.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,通过p偏振光激发。

5.根据权利要求1所述的纳米天线路由单元,其特征在于,所述不同波段的光信号包括o波段的光信号...

【专利技术属性】
技术研发人员:武爱民刘向华王茹雪
申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
类型:发明
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