【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种设置于空气过滤装置中的喷出口的工作面,特别是涉及一种向洁净室或洁净棚等作业场所供给净化空气的空气过滤装置的顶面上的喷出工作面和具有该工作面的空气过滤装置。
技术介绍
1、在半导体制造设施或医疗设备等中,洁净室的需求正在增大。在以往的洁净室等的顶面上的空气过滤用喷出口扩散型工作面(扩散器)中,例如使用如下等结构:在冲孔板的周围设置台阶,通过从形成于台阶部的缝隙喷出净化后的空气,并使该空气扩散,从而使室内空气质量得到稀释净化。
2、另一方面,在洁净室及相关受控环境的国际标准iso 14644-16“洁净室及洁净设备的能源效率(energy efficiency in cleanrooms and separative devices)”中,总结了对洁净室的节能要求。在该书中,提出cre(发生源中的空气颗粒物浓度/室内的平均空气颗粒物浓度)和ace(在1点处测量的复原时间/室内换气频率)作为洁净室的换气效率,促进净化空气在洁净室内均匀地扩散。而且,在该书的图1中示出了如下情况:从使用难以被称为扩散器的冲孔板的空气
...【技术保护点】
1.一种工作面,其设置于空气过滤装置的顶面上的喷出口,所述工作面的特征在于:
2.根据权利要求1所述的工作面,其特征在于:
3.根据权利要求1所述的工作面,其特征在于:
4.根据权利要求1所述的工作面,其特征在于:
5.根据权利要求1所述的工作面,其特征在于:
6.根据权利要求1所述的工作面,其特征在于:
7.一种空气过滤装置,其特征在于,包括:
【技术特征摘要】
1.一种工作面,其设置于空气过滤装置的顶面上的喷出口,所述工作面的特征在于:
2.根据权利要求1所述的工作面,其特征在于:
3.根据权利要求1所述的工作面,其特征在于:
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