【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种接触式测头，具体涉及一种利用贴片电机进行驱动的微型气浮测头。
技术介绍
1、微位移测量装置在精密加工、智能制造、仪器仪表等高端装备和智能设备领域应用广泛，国内测量仪器设备的相关研究主要集中在测量方法和整体构形上，测头等关键零部件及核心技术被国外垄断，目前微位移的测量方法和装置结构在测量精度、测量力大小和测量装置尺寸的性能指标上难以兼顾，难以满足微位移的高精度测量需求。本专利技术设计一种基于贴片电机的微型气浮测头，利用气浮导轨作为导向机构，利用贴片电机驱动气浮导轨运动，利用激光传感器测量测针的进给位移，在测针运动方向无摩擦运动，从而减小触发测量力、保证测量的高精度，同时也可实现小型化。
2、已公开专利cn217442505u是一种单目视觉测量装置，通过电机轴转动驱动丝杠传动从而调节靶面位置，当靶面上放置有被测物时，靶面上形成的光斑经透镜、光屏在相机中的成像位置发生改变，实现被测物厚度的测量，该装置结构不紧凑，体积未小型化。
3、已公开专利cn102175158a是一种基于旋光效应的微位移传感器，起...
【技术保护点】
1.一种基于贴片电机驱动的微型气浮测头，包括基座(1)、测针(2)，其特征在于：所述基座(1)固连有2个气浮套(3)，基座(1)与两个气浮套(3)之间安装有气浮导轨(4)，所述气浮导轨(4)中部加工有梁(5)，梁(5)的两侧加工若干凸台(6)，凸台(6)上安装有贴片电机(7)，贴片电机(7)上加工有定位孔(8)，利用定位孔(8)可使贴片电机(7)对称安装在梁(5)两侧，每个贴片电机(7)内侧安装有2片压电陶瓷(9)，贴片电机(7)上加工或安装有若干个驱动足(10)，驱动足(10)与预紧铰链(11)的内侧过盈配合，预紧铰链(11)的上方与电机罩壳(12)通过螺钉(13)...
【技术特征摘要】
1.一种基于贴片电机驱动的微型气浮测头，包括基座(1)、测针(2)，其特征在于：所述基座(1)固连有2个气浮套(3)，基座(1)与两个气浮套(3)之间安装有气浮导轨(4)，所述气浮导轨(4)中部加工有梁(5)，梁(5)的两侧加工若干凸台(6)，凸台(6)上安装有贴片电机(7)，贴片电机(7)上加工有定位孔(8)，利用定位孔(8)可使贴片电机(7)对称安装在梁(5)两侧，每个贴片电机(7)内侧安装有2片压电陶瓷(9)，贴片电机(7)上加工或安装有若干个驱动足(10)，驱动足(10)与预紧铰链(11)的内侧过盈配合，预紧铰链(11)的上方与电机罩壳(12)通过螺钉(13)固连，电机罩壳(12)安装在两个气浮套(3)之间并固连在基座(1)上，气浮导轨(4)的一端固连有测针(2)，另一侧安装有激光传感器(14)，激光传感器(14)通过固定座(15)安装在基座(1)上，激光传感器(14)上方安装有传感器罩壳(16...
【专利技术属性】
技术研发人员：温众普，顾慧，曲华杰，李梓瑞，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：
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