【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池,更具体地,涉及一种去除太阳能电池氧化铝的方法及太阳能电池、太阳能电池组件。
技术介绍
1、为了满足人们日益增长的能源需求和减少使用能源带来的环境污染,急需发展一种无污染的新能源,而太阳能作为一种洁净可再生能源因此受到了重视。太阳能电池是一种能够直接将太阳能转化为电能的装置,是开发利用太阳能的重要工具之一。
2、太阳能电池的制作流程一般有九步,分别是制绒、硼扩散、背抛光、磷扩散、退火、正面刻蚀、镀氧化铝、镀减反射层和丝网烧结,其中,镀氧化铝工艺具体是指利用原子层沉积法(ald)交替通入水和三甲基铝(tma)两种前驱体在硅片上进行多次反应,且每次反应只沉积一层氧化铝原子薄层,多次反应的循环叠加形成了纳米级氧化铝薄膜。镀氧化铝工艺制备的氧化铝薄膜适用于钝化硅片表面,可以对电池正面进行钝化,降低表面复合速率,同时,其也会在电池背面和/或侧面产生氧化铝,如图1所示,该氧化铝会吸附负离子,影响太阳能电池的转化效率,也会影响太阳能电池的外观,而且背面和侧面氧化铝不均匀分布时还会影响丝网烧结工艺中浆料的烧穿效果。<
...【技术保护点】
1.一种去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.如权利要求1所述去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,所述前段工艺为包括制绒、正面扩散、去绕镀第一掺杂硅玻璃、背面抛光、制备隧穿氧化层和掺杂非晶硅层、退火、去绕镀第二掺杂硅玻璃、清洗工艺。
3.如权利要求2所述去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,所述前段工艺包括以下步骤:
4.如权利要求1所述去除太阳能电池绕镀氧化铝的方法,其特征在于,所述镀氧化铝工艺为单面氧化铝工艺或双面氧化铝工艺;
5.如权利要求1所述去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,步
...【技术特征摘要】
1.一种去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.如权利要求1所述去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,所述前段工艺为包括制绒、正面扩散、去绕镀第一掺杂硅玻璃、背面抛光、制备隧穿氧化层和掺杂非晶硅层、退火、去绕镀第二掺杂硅玻璃、清洗工艺。
3.如权利要求2所述去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,所述前段工艺包括以下步骤:
4.如权利要求1所述去除太阳能电池绕镀氧化铝的方法,其特征在于,所述镀氧化铝工艺为单面氧化铝工艺或双面氧化铝工艺;
5.如权利要求1所述去除太阳能电池氧化铝的方法,其特征在于,步骤s2中,所述用hcl和hf清洗是指用hcl和hf的混合液清洗或先用hcl清洗再用hf清洗。
6.如权利要求5所述去除太阳能电池氧...
【专利技术属性】
技术研发人员:喻强,王伟,唐果,梁成宝,刘晓萌,
申请(专利权)人:江西沐邦高科股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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