【技术实现步骤摘要】
本申请一般涉及扫描电镜图像周期检测。更具体地，本申请涉及一种用于确定扫描电镜图像周期的方法、设备和计算机可读存储介质。
技术介绍
1、扫描电镜是用于样品形貌表征，成分分析的高精尖仪器，例如现代先进的场发射扫描电镜的分辨率已经达到1纳米，通过扫描电镜能够帮助科研人员及技术工作者探索揭秘丰富的微观世界。尤其，随着半导体行业快速发展，半导体晶圆缺陷检测作为半导体制造的重要环节，由此对其要求越来越高，而通过基于扫描电镜采集半导体晶圆缺陷的扫描电镜图检测晶圆缺陷也较为广泛。
2、带电粒子数的半导体晶圆缺陷检测方法主要有3种，例如d2d(die to die)，c2c(cell to cell)，d2db(die to database)。其中，对于本身具有周期性的图形，可以通过自身不同临近周期pitch之间的差异来获得缺陷的位置，即c2c方法。在实际采集相同晶圆扫描电镜图的过程中，周期值会达到亚像素级别，且周期图像纹理丰富。因此，对于周期值的精度要求极高，较好的周期性计算方法有助于精准的获取缺陷位置，降低缺陷的误检率。目前，计算图像周...
【技术保护点】
1.一种用于确定扫描电镜图像周期的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中通过以下操作对原始扫描电镜图像进行扩充：
3.根据权利要求2所述的方法，其中利用傅里叶变换获取扩充后的原始扫描电镜图像在目标方向上所有的周期值包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其中对所述扩充矩阵进行一维傅里叶变换，获得一维频谱矩阵包括：
5.根据权利要求1或3所述的方法，其中所述目标方向包括水平方向和/或竖直方向，所述周期值包括水平方向的周期值、竖直方向的周期值以及水平方向的周期值和竖直方向的周期值的组合周期值，并且基于所述周期值将所述...
【技术特征摘要】
1.一种用于确定扫描电镜图像周期的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中通过以下操作对原始扫描电镜图像进行扩充：
3.根据权利要求2所述的方法，其中利用傅里叶变换获取扩充后的原始扫描电镜图像在目标方向上所有的周期值包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其中对所述扩充矩阵进行一维傅里叶变换，获得一维频谱矩阵包括：
5.根据权利要求1或3所述的方法，其中所述目标方向包括水平方向和/或竖直方向，所述周期值包括水平方向的周期值、竖直方向的周期值以及水平方向的周期值和竖直方向的周期值的组合周期值，并且基于所述周期值将所述原始扫描电镜图像沿所述目标方向移动一个周期，以获得对应的目标扫描电镜图像包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其中获取对应的所述目标扫描电镜图像与所述原始扫描电镜图像之间的绝对误差和图像，并确定所述绝对...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵帅帅，杨康康，王振东，张剑，
申请(专利权)人：惠然微电子技术无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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