一种阳极板、电镀模具及电镀装置制造方法及图纸

技术编号:42574513 阅读:23 留言:0更新日期:2024-08-29 00:39
本技术提供了一种阳极板、电镀模具及电镀装置,属于电镀设备技术领域,包括支撑板以及设置在支撑板上的电力加强件,支撑板可拆卸设置在电镀模具上,支撑板包括多条均匀间隔设置的基板,相邻两条基板之间形成过液槽,导向加强件包括多条均匀间隔设置的电力加强条,导向加强条与基板相固定,且电力加强条的直线方向与过液槽的直线方向相垂直,每条过液槽被电力加强件分隔形成多个过液孔;优点可以增加阳极板处的电力线的分布强度,即提高了在引线框架电镀时的阴极极化作用,便于获得晶粒更加细致紧密的镀层;且导向加强条与基板两者的均匀间隔设置,生成多个排布均匀的过液孔,保证过液孔处的电力线的分布均匀性,保证镀层厚度的均匀。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于电镀设备,尤其涉及一种阳极板、电镀模具及电镀装置


技术介绍

1、引线框架作为集成电路的芯片载体,是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接,形成电气回路的关键结构件,它起到了和外部导线连接的桥梁作用,绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架,是电子信息产业中重要的基础材料。

2、随着半导体技术的发展,在引线框架行业上,由最初对产品采用全镀的方式,随着产品技术的迭代,再加上降成本需求,产品逐步采用局部镀的方式,镀区的质量要求也更高。而在现有技术中,在引线框架电镀的过程中,一般会以普通不锈钢板或钛板作为电镀装置上的阳极板,而利用该阳极板进行电镀后存在镀层晶粒粗大与厚度不均匀等问题。


技术实现思路

1、本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种电镀效果更好的阳极板及电镀模具。

2、本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种阳极板,包括支撑板以及设置在所述支撑板上的电力加强件,支撑板可拆卸设置在电镀模具上,所述支撑板包括多条均匀间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种阳极板,其特征在于,包括支撑板以及设置在所述支撑板上的电力加强件,支撑板可拆卸设置在电镀模具上,所述支撑板包括多条均匀间隔设置的基板,相邻两条所述基板之间形成过液槽,所述电力加强件包括多条均匀间隔设置的电力加强条,所述电力加强条与所述基板相固定,且所述电力加强条的直线方向与所述过液槽的直线方向相垂直,每条所述过液槽被所述电力加强条分隔形成多个过液孔。

2.根据权利要求1所述的一种阳极板,其特征在于,所述基板与所述电力加强条之间的连接方式为铆接、粘接、爆炸焊、扩散焊、钎焊、熔焊中的一种或多种;或者在所述电力加强条与基板之间设置有固定件进行连接。>

3.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种阳极板,其特征在于,包括支撑板以及设置在所述支撑板上的电力加强件,支撑板可拆卸设置在电镀模具上,所述支撑板包括多条均匀间隔设置的基板,相邻两条所述基板之间形成过液槽,所述电力加强件包括多条均匀间隔设置的电力加强条,所述电力加强条与所述基板相固定,且所述电力加强条的直线方向与所述过液槽的直线方向相垂直,每条所述过液槽被所述电力加强条分隔形成多个过液孔。

2.根据权利要求1所述的一种阳极板,其特征在于,所述基板与所述电力加强条之间的连接方式为铆接、粘接、爆炸焊、扩散焊、钎焊、熔焊中的一种或多种;或者在所述电力加强条与基板之间设置有固定件进行连接。

3.根据权利要求1所述的一种阳极板,其特征在于,所述电力加强条的材质为铂金、钯金、黄金、铌、钒、锆中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的一种阳极板,其特征在于,所述基板的材质为不锈钢、钛、石墨中的一种或多种。

5.根据权利要求4所述的一种阳极板,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙亚斐
申请(专利权)人:宁波埃斯科光电有限公司
类型:新型
国别省市:

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