一种高真空门阀测试用真空结构及设备制造技术

本技术公开了一种高真空门阀测试用真空结构及设备，其包括L形板，所述L形板上设置有转移机构，所述L形板的下表面固定连接有操作台，所述操作台的上表面一侧开设有检测槽。通过上述结构，通过转移机构自动对安装好的高真空门阀进行检测，避免操作者手动握住进行检测由于操作者的手抖动等情况造成检测结果产生误差，提高装置检测的准确性，装置检测机构中，固定框与隔离网相配合构成连通器，与检测槽内的区域位置的水位相同，并且避免水中的较大杂质污染检测设备，延长了装置的使用寿命，装置的检测原理相对简单易懂，只需对操作人员进行简单的培训即可进行操作，使得装置更适合普遍推广进行使用，进而降低了高真空门阀检测成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，特别涉及一种高真空门阀测试用真空结构及设备。

技术介绍

1、高真空门阀，用于实现物理气相沉淀设备中工艺腔的高真空隔离和小范围压力控制。

2、申请人在申请本专利技术时，经过检索，发现中国专利公开了一种“高真空门阀测试用真空结构及设备”，其申请号为“202320737571.8”，该专利主要通过阀板设有与所述活塞杆连接的连接孔。在高真空门阀维修后上机前，使用所述真空腔提供模拟的上机环境，能够模拟测试高真空阀本身的密封性以及能够模拟测试所述高真空门阀对工艺腔的出气口的密封性能。但是该装置操作原理较为复杂，对操作者的要求较高，不适合普遍推广。

技术实现思路

1、本技术，提供一种高真空门阀测试用真空结构及设备，能够通过转移机构自动对安装好的高真空门阀进行检测，避免操作者手动握住进行检测由于操作者的手抖动等情况造成检测结果产生误差，提高装置检测的准确性，装置检测机构中，固定框与隔离网相配合构成连通器，与检测槽内的区域位置的水位相同，并且避免水中的较大杂质污染检测设备，延长了装置的使用寿命，装本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高真空门阀测试用真空结构，包括L形板(1)，其特征在于，所述L形板(1)上设置有转移机构(6)，所述L形板(1)的下表面固定连接有操作台(2)，所述操作台(2)的上表面一侧开设有检测槽(3)，所述操作台(2)的内壁固定连接有排出管(4)，所述排出管(4)上设置有控制阀(5)，所述操作台(2)上设置有检测机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种高真空门阀测试用真空结构，其特征在于，所述转移机构(6)包括电机(61)，所述电机(61)固定连接在L形板(1)的下表面，所述电机(61)的一侧输出端固定连接有螺纹杆(62)，所述L形板(1)的下表面开设有限制槽(64)。...

【技术特征摘要】

1.一种高真空门阀测试用真空结构，包括l形板(1)，其特征在于，所述l形板(1)上设置有转移机构(6)，所述l形板(1)的下表面固定连接有操作台(2)，所述操作台(2)的上表面一侧开设有检测槽(3)，所述操作台(2)的内壁固定连接有排出管(4)，所述排出管(4)上设置有控制阀(5)，所述操作台(2)上设置有检测机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种高真空门阀测试用真空结构，其特征在于，所述转移机构(6)包括电机(61)，所述电机(61)固定连接在l形板(1)的下表面，所述电机(61)的一侧输出端固定连接有螺纹杆(62)，所述l形板(1)的下表面开设有限制槽(64)。

3.根据权利要求2所述的一种高真空门阀测试用真空结构，其特征在于，所述螺纹杆(62)远离电机(61)的一端转动连接有支撑板(63)，所述支撑板(63)固定连接在l形板(1)的下表面。

4.根据权利要求2所述的一种高真空门阀测试用真空结构，其特征在于，所述螺纹杆(62)的外壁螺纹连接有螺纹套(65)，所述螺纹套(65)的外壁固定连接有限制杆(66)，所述限制杆(66)滑动连接在...

【专利技术属性】
技术研发人员：童铭洲，刘赛赛，周泉行，黄博文，付昭通，
申请(专利权)人：神通半导体科技南通有限公司，
类型：新型
国别省市：