一种ITO导电玻璃的刻蚀方法及刻蚀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种ITO导电玻璃的刻蚀方法及刻蚀装置，其中刻蚀方法包括如下步骤：S1.将碱性刻蚀浆液装入点胶机的针筒中，设置压力，使碱性刻蚀浆液能够稳定的从点胶机的针筒中压出；S2.针筒固定在点胶机的机械臂的末端上，根据I TO玻璃上的图案需求，在点胶机的控制面板中设置或选择对应图案的运行程序，运行程序控制点胶机的机械臂的运行轨迹，使碱性刻蚀浆液自动的在I TO玻璃的表面上精确绘制需要的图案；S3.绘制完成后，将I TO玻璃加热，清洗烘干后完成刻蚀。本发明专利技术能够解决I TO表面二氧化硅层的快速化、精细化刻蚀问题，而且可以实现对浆液用量的精准控制，不会对浆液造成损失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ito导电玻璃加工领域，具体涉及一种ito导电玻璃的刻蚀方法及刻蚀装置。

技术介绍

1、氧化铟锡(ito)透明薄膜是一种非常好的导电材料，被广泛应用于液晶显示屏、触摸屏、有机发光显示屏等领域，另外，ito作为面发热体，可制备出多种功能玻璃，应用于飞机、火车、汽车等风挡玻璃、宇航飞船的眩窗、坦克激光测距仪等，能起到隔热降温作用，而且通电后还可除冰霜。近年来，更是采用ito膜层作为加热层，通过电流加热来调节激光的功率和波形，从而应用于激光雷达的光学视窗。为了增强ito层的使用寿命，往往在ito表面镀上二氧化硅保护层，再根据需求对二氧化硅进行局部的特殊刻蚀。

2、酸和碱都可以对二氧化硅进行刻蚀，酸溶液刻蚀速度较快，但是很容易破坏二氧化硅下面的ito层，因此碱性刻蚀液为最优选择。目前用碱性刻蚀液刻蚀二氧化硅时，采用的方法主要为喷淋，一种是直接喷淋，这种方法刻蚀效率相对较高，但是刻蚀较为粗糙，不利于控制特定的图案，另一种是借助于石蜡雕刻，首先采用石蜡涂覆于玻璃表面，然后在石蜡表面雕刻图案，最后再清洗掉石蜡和残留的刻蚀液，这种方法采用的步骤相本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种ITO导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的ITO导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，还包括步骤S4.用电阻测试仪测试刻蚀后ITO层电阻，并分析电阻的连续性和稳定性。

3.根据权利要求1所述的ITO导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，S1中，碱性刻蚀浆液的粘度为18000-20000cps。

4.根据权利要求1所述的ITO导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，S1中，通过点胶机的压力系统设置压力，所述点胶机的压力系统由油泵、液压缸、驱动电机和液压油组成，驱动电机启动后，油泵开始工作，并把液压油输送到液压缸中，通过控制液压缸的...

【技术特征摘要】

1.一种ito导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的ito导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，还包括步骤s4.用电阻测试仪测试刻蚀后ito层电阻，并分析电阻的连续性和稳定性。

3.根据权利要求1所述的ito导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，s1中，碱性刻蚀浆液的粘度为18000-20000cps。

4.根据权利要求1所述的ito导电玻璃的刻蚀方法，其特征在于，s1中，通过点胶机的压力系统设置压力，所述点胶机的压力系统由油泵、液压缸、驱动电机和液压油组成，驱动电机启动后，油泵开始工作，并把液压油输送到液压缸中，通过控制液压缸的运动调整压...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋大雷，周军，李勇霖，王君，张密林，
申请(专利权)人：东莞市通美电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：