【技术实现步骤摘要】
本技术属于碟簧测量装置，具体为一种测量多组碟簧高温力值和形变的装置。
技术介绍
1、随着半导体技术的飞速发展，半导体元件的制造工序要求越来越严格，因而要求过程控制的元器件的精度也越来越高。碟簧由于整体体积小，行程小，力值大等特点。在一些半导体阀和压力开关中，常用来作为提供密封力和反馈压力变化的的弹性元件。例如，在一些用于监控半导体流道介质压力变化的压力开关中，碟簧受力随介质压力变化而变化，产生对应的形变，触发微动开关的导通和断开，从而捕捉介质气压的变化，反馈电信号，实现流道介质压力的监控。对于这种应用在半导体元器件上的碟簧，其力值和对应的形变需要非常稳定，且受外界干扰变化小。
2、碟簧在安装前一般会用压力试验机对其力值和形变进行测试，确认力值和形变的对应关系符合要求。然而对于应用于高温场合的碟簧，目前缺乏在高温下直接检测碟簧力值和形变对应关系的直接方法。像碟簧这样的弹性元件，力值和形变的对应关系会受到温度的影响，温度升高，材质的弹性模量会下降，相同力值的作用下，形变会增大。常用的耐高温材质碟簧，一般碟簧供货商也缺乏完善的方法...
【技术保护点】
1.一种测量多组碟簧高温力值和形变的装置，其特征在于：包括加热机构与固定机构，固定机构连接在加热机构内；加热机构包括加热盒(1)与加热棒(15)；固定机构包括安装本体(12)、固定部(10)以及中心轴(6)；
2.根据权利要求1所述的一种测量多组碟簧高温力值和形变的装置，其特征在于：加热盒(1)上与第一定位孔(5)相对的一侧设置有第一检测孔(8)，安装本体(12)上与第二定位孔(3)相对的一侧设置有第二检测孔(7)；第一检测孔(8)与第二检测孔(7)对位；加热盒(1)上设置有热电偶(9)，热电偶(9)穿过第一检测孔(8)与第二检测孔(7)。
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【技术特征摘要】
1.一种测量多组碟簧高温力值和形变的装置，其特征在于：包括加热机构与固定机构，固定机构连接在加热机构内；加热机构包括加热盒(1)与加热棒(15)；固定机构包括安装本体(12)、固定部(10)以及中心轴(6)；
2.根据权利要求1所述的一种测量多组碟簧高温力值和形变的装置，其特征在于：加热盒(1)上与第一定位孔(5)相对的一侧设置有第一检测孔(8)，安装本体(12)上与第二定位孔(3)相对的一侧设置有第二检测孔(7)；第一检测孔(8)与第二检测孔(7)对位；加热盒(1)上设置有热电偶(9)，热电偶(9)穿过第一检测孔(8)与第二检测孔(7)。
3.根据权利要求1所述的一种测量多组碟簧高温力值和形变的装置，其特征在于：加热盒(1)采用铜合金材料或者铝合金材料...
【专利技术属性】
技术研发人员：童泽琼，宋铠钰，陈林，张智明，
申请(专利权)人：四川九天真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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