【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗设备领域，尤其涉及一种针对硅基切片或碳化基切片的高效绿色清洗设备。
技术介绍
1、目前，硅基切片或碳化基切片是制作半导体和太阳能电池的主要基材。硅基切片或碳化基切片在制造过程中对切片进行清洗的技术方法是制造高品质产品的重要过程。硅基切片或碳化基切片表面层原子因垂直切片方向的化学键被破坏而成为悬空键，形成表面附近的自由力场，极易吸附各种杂质表面，可能沾污的杂质可归纳为三类：①油脂、松香、蜡、环氧树脂、聚乙二醇等有机物；②金属、金属离子及一些无机化合物；③自然氧化层及尘埃及其他颗粒(硅，碳化硅)等。过去，在进行硅基切片或碳化基切片清洗时使用了各种湿法清洗切片的技术，如酸碱水清洗、超声波清洗、低压等离子和机械方法。然而，由于湿法过程使用了酸性和碱性溶液以及有害化学品，存在酸碱耗材成本及废水处理成本和环境监管的问题。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、节能、环保且低成本的高效绿色清洗设备。
2、本专利技术所采用的技术...
【技术保护点】
1.一种高效绿色清洗设备，其特征在于，它包括液气混合泵（1）、清洗槽（2）和至少1条一次混合罐通道，每条所述一次混合罐通道包括一个一次压力调节阀（3）和一个一次混合罐（4），每条所述一次混合罐通道内的所述一次混合罐（4）内的压力通过该通道内的所述一次压力调节阀（3）进行调节，所有所述一次混合罐通道的输入端连通至所述液气混合泵（1）的输出端，在所述清洗槽（2）的内部槽底内设置有气液出口组件（5），每条所述一次混合罐通道的输出端与所述气液出口组件（5）连通，所述气液出口组件（5）向所述清洗槽（2）内注入气液混合体。
2.根据权利要求1所述的一种高效绿色清洗设备...
【技术特征摘要】
1.一种高效绿色清洗设备，其特征在于，它包括液气混合泵（1）、清洗槽（2）和至少1条一次混合罐通道，每条所述一次混合罐通道包括一个一次压力调节阀（3）和一个一次混合罐（4），每条所述一次混合罐通道内的所述一次混合罐（4）内的压力通过该通道内的所述一次压力调节阀（3）进行调节，所有所述一次混合罐通道的输入端连通至所述液气混合泵（1）的输出端，在所述清洗槽（2）的内部槽底内设置有气液出口组件（5），每条所述一次混合罐通道的输出端与所述气液出口组件（5）连通，所述气液出口组件（5）向所述清洗槽（2）内注入气液混合体。
2.根据权利要求1所述的一种高效绿色清洗设备，其特征在于，所述一次混合罐通道的数量为1～6条，每条所述一次混合罐通道连通一个所述气液出口组件（5），每个所述气液出口组件（5）的出口数量设置为6～8个。
3.根据权利要求1所述的一种高效绿色清洗设备，其特征在于，在所述清洗槽（2）内设置有超声波发生器（6）。
4.根据权利要求1所述的一种高效绿色清洗设备，其特征在于，所述液气混合泵（1）内注入的液体为纯水、弱碱水或弱酸水，注入的气体为臭氧或氧气或氮气。
5.根据权利要求1所述的一种高效绿色清洗设备，其特征在于，在所述清洗槽（2）的后端还连接有集水槽（7），所述集水槽（7）收集所述清洗槽（2）溢出的废水，所述集水槽（7）设置有循环管道（8）连通至所述液气混合泵（1）的液体输入端，所述循环管道（8）上设置有过滤装置（9）。
6.根据权利要求1所述的一种高效绿色清洗设备，其特征在于，在所述清洗槽（2）上方还设置有试剂添加口，通过所述试剂添加口向所述清洗槽（2）内添加试剂，该试剂为碱性溶液或表面活性剂。
7.根据权利要求1所述的一种高效绿色清洗设备，其特征在于，所述一种高效绿色清洗设备为316不锈钢、氟树脂或镀氟材质制成。
8.一种高效绿色清洗设备，其特征在于，它包括液气混合泵（1）、清洗槽（2）、一个...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈显东，李锋军，
申请(专利权)人：珠海诺净科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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