固态装配型横向激励的薄膜体声波谐振器制造技术

技术编号:42508726 阅读:31 留言:0更新日期:2024-08-22 14:24
公开了谐振器器件、滤波器器件和制造方法。谐振器器件包括基板和具有平行的正面和背面的单晶压电板。一声布拉格反射器,夹在基板的表面和单晶压电板的背面之间。一叉指换能器(IDT),在正面上形成。IDT被配置为响应于施加到IDT的射频信号来激励压电板中的剪切声波。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及使用声波谐振器的射频滤波器,尤其涉及用于通信设备中的滤波器。


技术介绍

1、射频(rf)滤波器是双端器件,其被配置为通过一些频率,阻止其它频率,其中“通过”意味着以相对低的信号损耗进行传输,而“阻止”意味着阻塞或基本上衰减。滤波器通过的频率范围称为滤波器的“通带”。由这种滤波器阻止的频率范围称为滤波器的“阻带”。典型的rf滤波器具有至少一个通带和至少一个阻带。通带或阻带的具体要求取决于具体应用。例如,“通带”可以定义为一个频率范围,其中滤波器的插入损耗小于诸如1db、2db或3db的定义值。“阻带”可以定义为一个频率范围,其中滤波器的插入损耗大于定义值,例如20db、30db、40db或更大的值,这取决于具体的应用。

2、rf滤波器用于通过无线链路传输信息的通信系统中。例如,rf滤波器可见于蜂窝基站、移动电话和计算设备、卫星收发器和地面站、物联网(1ot)设备、膝上型计算机和平板电脑、定点无线电链路和其它通信系统的rf前端中。rf滤波器也用于雷达和电子和信息战系统。

3、rf滤波器通常需要许多设计方面的权衡,以针对每个特定本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种体声波滤波器器件,包括:

2.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

3.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

4.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述压电层是铌酸锂和钽酸锂中的一种。

5.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述声反射器被配置为在包括所有多个谐振器的谐振和反谐振频率的频率范围下反射剪切声波。

6.根据权利要求5所述的体声波滤波器器件,其中,所述声反射器包括:

7.根据权利要求6所述的体声波滤波器器件,其中,所述多个介电层包括至少四层且不超过七层。

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【技术特征摘要】

1.一种体声波滤波器器件,包括:

2.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

3.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

4.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述压电层是铌酸锂和钽酸锂中的一种。

5.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述声反射器被配置为在包括所有多个谐振器的谐振和反谐振频率的频率范围下反射剪切声波。

6.根据权利要求5所述的体声波滤波器器件,其中,所述声反射器包括:

7.根据权利要求6所述的体声波滤波器器件,其中,所述多个介电层包括至少四层且不超过七层。

8.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述压电层的正面和背面之间的厚度大于或等于200纳米且小于或等于1000纳米。

9.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述多个idt中的所有idt具有各自的间距,所述间距大于或等于所述压电层的厚度的2倍且小于或等于所述压电层的厚度的20倍。

10.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

11.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

12.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

13.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

14.根据权利要求13所述的体声波滤波器器件,其中,

15.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,

16.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述声反射器是布拉格镜。

17.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述声反射器是镜子。

18.根据权利要求1所述的体声波滤波器器件,其中,所述体声波滤波器器件具有包括所述多个谐振器的梯形滤波器结构。

19.一种体声波滤波器,包括:

20.根据权利要求19所述的体声波滤波器,其中所述体声波滤波器具有包括并联谐振器和串联谐振器的梯形滤波器架构。

21.根据权利要求19所述的体声波滤波器,其中所述第一厚度大于所述第二厚度。

22.根据权利要求19所述的体声波滤波器,其中,间距是所述多个idt中的一个或多个idt...

【专利技术属性】
技术研发人员:维克多·普莱斯基苏米亚·扬德拉帕利罗伯特·B·哈蒙德布莱恩特·加西亚帕特里克·特纳杰森·约翰温切斯拉夫·扬捷切夫
申请(专利权)人:株式会社村田制作所
类型:发明
国别省市:

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