光子晶体的制造方法和发光装置的制造方法制造方法及图纸

光子晶体的制造方法和发光装置的制造方法，能够制造能够展现稳定的光封闭效果的光子晶体。光子晶体的制造方法包含以下工序：形成第1层；在所述第1层形成第1孔和第2孔；在所述第1孔和所述第2孔晶体生长出第2层，在所述第1孔形成折射率比所述第1层低的第1低折射率部，在所述第2孔形成折射率比所述第1层低的第2低折射率部，在形成所述第1孔和所述第2孔的工序中，以所述第1孔的直径大于所述第2孔的直径的方式形成所述第1孔和所述第2孔，在形成所述第1低折射率部和所述第2低折射率部的工序中，以所述第1孔的直径与所述第1低折射率部的直径之差大于所述第2孔的直径与所述第2低折射率部的直径之差的方式晶体生长出所述第2层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光子晶体的制造方法和发光装置的制造方法。

技术介绍

1、已知折射率周期性地变化的光子晶体。

2、例如在专利文献1中记载了一种二维光子激光器的制造方法，其具有如下工序：制作母材层；在母材层内周期性地形成空穴；以及在母材层和空穴上通过外延法制作由alxga1-xas构成的层。

3、专利文献1：日本特开2012-33706号公报

4、在如上所述的二维光子激光器的制造方法中，要求制造能够展现稳定的光封闭效果的光子晶体。

技术实现思路

1、本专利技术的光子晶体的制造方法的一个方式包含以下工序：形成第1层；在所述第1层形成第1孔和第2孔；以及在所述第1孔和所述第2孔处晶体生长出第2层，在所述第1孔形成折射率比所述第1层低的第1低折射率部，在所述第2孔形成折射率比所述第1层低的第2低折射率部，在形成所述第1孔和所述第2孔的工序中，以所述第1孔的直径大于所述第2孔的直径的方式形成所述第1孔和所述第2孔，在形成所述第1低折射率部和所述第2低折射率部的工序中，以所述第1孔的直径与本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光子晶体的制造方法，其包含以下工序：

2.根据权利要求1所述的光子晶体的制造方法，其中，

3.根据权利要求1所述的光子晶体的制造方法，其中，

4.根据权利要求3所述的光子晶体的制造方法，其中，

5.根据权利要求4所述的光子晶体的制造方法，其中，

6.根据权利要求5所述的光子晶体的制造方法，其中，

7.根据权利要求6所述的光子晶体的制造方法，其中，

8.一种发光装置的制造方法，其具有权利要求1至7中的任一项所述的光子晶体的制造方法。

【技术特征摘要】

1.一种光子晶体的制造方法，其包含以下工序：

2.根据权利要求1所述的光子晶体的制造方法，其中，

3.根据权利要求1所述的光子晶体的制造方法，其中，

4.根据权利要求3所述的光子晶体的制造方法，其中，

5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊井启友，二村徹，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：