【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例涉及mems微镜领域，并且更具体地涉及一种大口径的微镜结构、包括该微镜结构的光学设备以及相关的制备方法
技术介绍
1、微机电系统(mems,micro-electro-mechanical system)：也称为微电子机械系统，是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的微型高科技电子机械器件或系统，其利用传统的半导体工艺和材料，主要涉及微加工技术、机械学/固体声波理论、热流理论、电子学、生物学等，融合了光刻、腐蚀、薄膜、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术，并且集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体。
2、mems器件的特征长度从1毫米到1微米，内部关键结构一般在微米甚至纳米量级，相比之下头发的直径大约是50微米。
3、通过mems技术加工制造的微镜又称mems微镜(或简称微镜结构)，其通常把微光反射镜与mems驱动器集成一起。特别地，对于光学偏转角度较大(达到10°以上)的mems微镜，其主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描...
【技术保护点】
1.一种微镜结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述第一框架层(31)和第一悬臂层(51)中的至少一者结构连续。
3.根据权利要求2所述的微镜结构，其特征在于，所述第一框架层(31)和第一悬臂层彼此直接相连。
4.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述加强筋结构(23)、所述第一框架层(31)和所述第一悬臂层(51)在同一层平面上，并且三者的厚度相同。
5.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述可转动框架(3)还具有处于所述正面侧区域的第二框架层(32)和/或所述悬臂梁...
【技术特征摘要】
1.一种微镜结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述第一框架层(31)和第一悬臂层(51)中的至少一者结构连续。
3.根据权利要求2所述的微镜结构，其特征在于，所述第一框架层(31)和第一悬臂层彼此直接相连。
4.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述加强筋结构(23)、所述第一框架层(31)和所述第一悬臂层(51)在同一层平面上，并且三者的厚度相同。
5.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述可转动框架(3)还具有处于所述正面侧区域的第二框架层(32)和/或所述悬臂梁(5)还具有处于所述正面侧区域的第二悬臂层(52)，所述第一框架层(31)用于支撑所述第二框架层(32)，所述第一悬臂层(51)用于支撑所述第二悬臂层(52)。
6.根据权利要求5所述的微镜结构，其特征在于，所述第二框架层(32)和第二悬臂层(52)与所述镜面层(21)在同一层平面上，并且三者的厚度相同。
7.根据权利要求5所述的微镜结构，其特征在于，所述第一框架层(31)的厚度大于所述第二框架层(32)的厚度，所述第一悬臂层(51)的厚度大于所述第二悬臂层(52)的厚度。
8.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述连接部(35)的厚度大于所述镜面层(21)的厚度。
9.根据权利要求8所述的微镜结构，其特征在于，所述连接部(35)包括定位在所述背面侧区域的第一连接层和定位在所述正面侧区域的第二连接层两者中的至少一者，其中所述第一连接层与所述加强筋结构(23)和所述第一框架层(31)两者相连，并且所述第二连接层与所述镜面层(21)相连。
10.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述悬臂梁(5)嵌入到所述边框(4)中或所述可转动镜面(2)中。
11.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述悬臂梁(5)被构造为折叠梁。
12.根据权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，还包括：驱动线圈(35)，其形成在所述可转动框架(2)的上方，并且适于被通电以在外部磁场的作用下驱动所述可转动镜面(2)和所述可转动框架(3)两者转动。
13.根据权利要求1所述的微镜...
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