一种低泡型显影液及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种低泡型显影液及其制备方法，属于显影液技术领域。所述显影液包括如下重量百分比组分：5‑20wt％炔二醇醚改性有机硅、3‑20wt％无机碱、1‑5wt％糖醇、余量为去离子水。通过硅氢加成反应，将炔二醇醚和含氢聚硅氧烷合成炔二醇醚改性有机硅，作为表面活性剂兼具有机硅表面活性剂和炔二醇表面活性剂的优点，达到协同增效的目的，消泡能力和润湿能力更加优异。本发明专利技术通过添加特定的低泡表面活性剂炔二醇醚改性有机硅，有效减少显影剂中泡沫的产生，提高显影效率，同时有效促进了碱性基团与光阻分子之间均一稳定的作用，提高了显影精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于显影液，具体涉及一种低泡型显影液及其制备方法。

技术介绍

1、在彩色滤光片(colorfilter，cf)制作工艺中，为获得所需的精细模式(pattern)图形，需要使用感光材料光刻胶，光刻胶由颜料分散液、溶剂、感光性树脂及相关添加剂组成，其中感光性树脂的短链分子会因光照而交联成为长链分子。具体地，彩色滤光片的制作工艺为，首先会以涂布的方式在玻璃基板或基材上形成一定厚度的薄膜，再经掩膜版曝光后，使用显影液进行显影，除去未曝光的可溶性树脂部分，以此获得所需要的图像。cf制程又可细分为黑色矩阵层(bm)、彩色光阻层(r、g、b)、间隙柱体层(ps)和保护层(oc)等多道工艺。每一道工艺都有经过完整光刻制程：清洗、涂胶、软烘、曝光、显影、硬烘后经过检测得到精准的图形才能进行到下一步。因此能够提高显影速度、图形清晰精度好，cd值稳定，且满足工艺中高压喷淋的低泡性能，以及不残留易显影性能的显影液对产品的良率至关重要。

2、现有的显影液在运输及使用过程中会产生泡沫，影响显影效果。专利文献cn115657429a公开了一种pcb板用高效环保型显本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种低泡型显影液，其特征在于，包括以下重量百分比组分：5-20wt％炔二醇醚改性有机硅、3-20wt％无机碱、1-5wt％糖醇、余量为去离子水。

2.根据权利要求1所述的一种低泡型显影液，其特征在于，所述炔二醇醚改性有机硅，通过如下步骤制备：

3.根据权利要求2所述的一种低泡型显影液，其特征在于，所述S1中丁炔二醇、2-苯基-1,2环氧丙烷和三乙胺的质量比为10:35-40:0.05-0.1。

4.根据权利要求2所述的一种低泡型显影液，其特征在于，所述S1中2-苯基-1,2环氧丙烷的滴速为2-3滴/s。

5.根据权利要求2所述的一种低泡...

【技术特征摘要】

1.一种低泡型显影液，其特征在于，包括以下重量百分比组分：5-20wt％炔二醇醚改性有机硅、3-20wt％无机碱、1-5wt％糖醇、余量为去离子水。

2.根据权利要求1所述的一种低泡型显影液，其特征在于，所述炔二醇醚改性有机硅，通过如下步骤制备：

3.根据权利要求2所述的一种低泡型显影液，其特征在于，所述s1中丁炔二醇、2-苯基-1,2环氧丙烷和三乙胺的质量比为10:35-40:0.05-0.1。

4.根据权利要求2所述的一种低泡型显影液，其特征在于，所述s1中2-苯基-1,2环氧丙烷的滴速为2-3滴/s。

5.根据权利要求2所述的一种低泡型显...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢伟，赵建国，王维康，何烨谦，黄德新，龚升，
申请(专利权)人：合肥中聚和成电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：