太赫兹快速成像扫描方法以及成像系统技术方案

本发明专利技术公开了一种太赫兹快速成像扫描方法以及成像系统，所述太赫兹成像系统包括：承载装置，包括转动驱动机构以及与转动驱动机构的转动端相连接的载物台，所述载物台的表面用于承载被测样品；检测装置，包括太赫兹发射机构、传输光路机构、反射光路采集探测器以及透射光路采集探测器；直线驱动装置，包括相连接的直线驱动机构以及滑动座，所述直线驱动机构用于驱使滑动座做相对直线运动，所述承载装置或检测装置安装于所述滑动座上。本发明专利技术的太赫兹快速成像扫描方法以及成像系统能够提升扫描速度、实现被测样品的透射和反射以及偏振成像的同步采集、简化成像系统的结构，降低成像系统的制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体光电器件应用领域，具体涉及一种太赫兹快速成像扫描方法以及成像系统。

技术介绍

1、太赫兹波是电磁谱中介于毫米波和红外光之间的频段，其波长在0.1mm到1mm之间。太赫兹成像技术主要利用太赫兹波在介质材料中透射、反射、吸收特性，可用于医学、安全检测、材料检测等领域的无损检测。由于太赫兹波在非电离辐射范围内工作，具有较低的能量，因此在生物医学和材料科学中得到广泛关注。然而，目前的太赫兹成像技术在成像速度、分辨率、复杂性和成本等方面仍存在一些限制。

2、传统的太赫兹成像系统采用点扫描或线扫描方式，即将被测物体移动或太赫兹波源和探测器移动，以扫描整个被测区域，然后采集反射或透射的太赫兹信号，并在计算机上进行处理生成图像。然而，这些已有的实现方案普遍存在一些缺陷，如成像速度较慢、系统复杂度高、分辨率低、成本高等。

3、为了提高成像速度，人们提出了多种方案，其中一种是采用转盘扫描方式。转盘扫描方式是将太赫兹波源和探测器安装在转盘上，转盘旋转时，太赫兹波源发出的太赫兹波被转盘扫描到被测物体上，被测物体反射的太赫兹波被探测器接收本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种太赫兹成像系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述传输光路机构包括第一离轴抛物面镜和第二离轴抛物面镜；

3.根据权利要求2所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述传输光路机构还包括第三离轴抛物面镜和分束器；

4.根据权利要求2所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述传输光路机构还包括第四离轴抛物面镜和第五离轴抛物面镜；

5.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述太赫兹发射机构包括太赫兹源以及波导喇叭天线，所述波导喇叭天线位于太赫兹源发射的太赫兹光束的光路上，并用于使太赫兹光束具备高...

【技术特征摘要】

1.一种太赫兹成像系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述传输光路机构包括第一离轴抛物面镜和第二离轴抛物面镜；

3.根据权利要求2所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述传输光路机构还包括第三离轴抛物面镜和分束器；

4.根据权利要求2所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述传输光路机构还包括第四离轴抛物面镜和第五离轴抛物面镜；

5.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述太赫兹发射机构包括太赫兹源以及波导喇叭天线，所述波导喇叭天线位于太赫兹源发射的太赫兹光束的光路上，并用于使太赫兹光束具备高斯特性。

6.根据权利要求5所述的太赫兹成像系统，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦华，王懋，上官阳，刘翔宇，刘德峰，郝丛静，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：