一种信号处理系统和半导体工艺设备技术方案

本发明专利技术实施例提供了一种信号处理系统和半导体设备，本发明专利技术中核心板可以根据不同适配板的功能类型对至少一个适配板的数据传输通道进行配置，本发明专利技术中将核心板与至少一个适配板集成在一个PCB板上，由于PCB板的通信方式为内部走线，因此可以减少至少一个适配板和核心板所占用的体积，提升了空间利用率；本发明专利技术中不同适配板采集的信号可以通过PCB走线的方式传输至核心板再进行输出，减少了多种适配板向外输出需要使用的各种通信协议，减少了信号传输过程中的故障点，降低了通信故障率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体，特别是涉及一种信号处理系统和半导体工艺设备。

技术介绍

1、随着半导体技术的发展，半导体设备传输的信号的种类愈来愈多，为了对半导体设备中不同种类的信号的输入与输出进行控制，一般采用不同的功能板卡通过不同的通信协议与上位机进行数据交互，但是在数据传输的过程中每个功能板卡均使用独立的外围供电模块和通信模块，占用空间较大，每个功能板卡存在独立的通信模块，造成通信故障点较多，而且单个功能板卡作为一个独立的模块进行使用，导致组合在一起的功能板卡物料成本较高。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种信号处理系统和半导体工艺设备。

2、为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种用于半导体工艺设备的信号处理系统，所述信号处理系统包括核心板、通信连接器、外部信号连接器以及至少一个适配板；

3、所述至少一适配板分别通过所述外部信号连接器与所述半导体工艺设备的机台端连接，所述至少一个适配板用于通过所述外部信号连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体工艺设备的信号处理系统，其特征在于，所述信号处理系统包括核心板、通信连接器、外部信号连接器以及至少一个适配板；

2.根据权利要求1所述的信号处理系统，其特征在于，所述核心板还用于根据用户输入的控制信息生成控制指令；

3.根据权利要求1所述的信号处理系统，其特征在于，所述核心板包括逻辑器模块，所述适配板包括编码模块，所述编码模块用于设置拨码值；

4.根据权利要求3所述的信号处理系统，其特征在于，所述适配板包括外围接口电路，所述逻辑器模块还用于根据所述至少一个适配板的功能类型对所述至少一个适配板的外围接口电路进行配置，通过所述至少一个外围...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体工艺设备的信号处理系统，其特征在于，所述信号处理系统包括核心板、通信连接器、外部信号连接器以及至少一个适配板；

2.根据权利要求1所述的信号处理系统，其特征在于，所述核心板还用于根据用户输入的控制信息生成控制指令；

3.根据权利要求1所述的信号处理系统，其特征在于，所述核心板包括逻辑器模块，所述适配板包括编码模块，所述编码模块用于设置拨码值；

4.根据权利要求3所述的信号处理系统，其特征在于，所述适配板包括外围接口电路，所述逻辑器模块还用于根据所述至少一个适配板的功能类型对所述至少一个适配板的外围接口电路进行配置，通过所述至少一个外围接口电路对所述至少一个适配板进行供电。

5.根据权利要求4所述的信号处理系统，其特征在于，所述核心板还包括通信模块、处理器模块，所述处理器模块分别与所述通信模块、逻辑器模块连接；

6.根据权利要求5所述的信号处理系统，其特征在于，所述适配板包括回读通道，所述回读通道用于当所述适配板的外围接口电路和数据传输通道配置成功时将回读通道值由第一数值切换为第二数值，所述第一数值为所述适配板的外围接口电路和数据传输通道未配置成功时的回读通道值；

7.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓行，姬云磊，王斐斐，张旭，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：