利用活性氧的处理装置和利用活性氧的处理方法制造方法及图纸

利用活性氧的处理装置和利用活性氧的处理方法，其能够通过利用活性氧更有效地处理被处理物的表面。利用活性氧的处理装置和利用活性氧的处理方法，所述处理装置包括：活性氧供给装置，其在具有至少一个开口部的壳体中装配有等离子体激励器和臭氧分解装置；和被处理物的输送部件。等离子体激励器设置有夹着电介质材料的第一电极和第二电极，并且通过在两个电极之间施加电压而产生包含臭氧的诱导流。等离子体激励器和臭氧分解装置被配置成使得包含活性氧的诱导流从开口部流出，并且配置成使得包含活性氧的诱导流被供给到由输送部件在方向A上输送的被处理物的表面。从开口部流出壳体外的包含活性氧的诱导流的流出方向矢量包括与作为与方向A相反的方向B平行的方向上的矢量分量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及利用活性氧的处理装置和利用活性氧处理被处理物的方法。

技术介绍

1、专利文献1公开了一种能够提高紫外线和臭氧的处理效果的表面处理装置。该表面处理装置描述为在箱体状的装置主体内配备有紫外线发生灯，在紫外线灯的对应面上设置有紫外线透过率高的板体，将装置主体的内部设定为紫外线透过率高的气氛，并且在该板体的下方设置有臭氧处理空间。此外，描述了该表面处理装置通过接通紫外线发生灯并向装置主体的内部供给氮气或惰性气体，或者对装置主体的内部抽真空，将装置主体的内部设定为紫外线透过率高的气氛，进一步通过臭氧供给口供给臭氧，并且例如，在处理由输送机输送的试样时，通过由紫外线发生灯产生并有效地透过板体的185nm和254nm的紫外线对试样进行紫外线处理，并在臭氧处理空间中用臭氧处理试样。另外，描述了由于该表面处理装置中在板体的下方设置有臭氧处理空间，所以在臭氧处理空间中，臭氧被透过板体的紫外线氧化分解，对试样的表面进行有效杀菌，并且能够防止不必要的臭氧的氧化分解。

2、引文列表

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利申请特开no.h本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种利用活性氧的处理装置，其包括：

2.根据权利要求1所述的利用活性氧的处理装置，其中

3.根据权利要求1或2所述的利用活性氧的处理装置，其中所述流出方向矢量是在与所述第一方向相同的方向上的矢量。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的利用活性氧的处理装置，其中所述流出方向矢量与所述方向A之间形成的角α大于0°且为70°以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的利用活性氧的处理装置，其中

6.根据权利要求5所述的利用活性氧的处理装置，其中所述移动速度与朝向从所述开口部流出到壳体外的所述包含活性氧的诱导流的流出方向矢量的流出速...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种利用活性氧的处理装置，其包括：

2.根据权利要求1所述的利用活性氧的处理装置，其中

3.根据权利要求1或2所述的利用活性氧的处理装置，其中所述流出方向矢量是在与所述第一方向相同的方向上的矢量。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的利用活性氧的处理装置，其中所述流出方向矢量与所述方向a之间形成的角α大于...

【专利技术属性】
技术研发人员：植松敦，菊池裕一，本乡将嗣，山内一浩，古川匠，浅沼直哉，平田淳子，小熊徹，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：