【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体生产制造领域，尤其涉及一种运输设备。
技术介绍
1、在相关技术中，半导体产品生产制造过程中利用载带转载并通过轨道进行运输，当不同规格的半导体产品被运输时需要采用不同规格的载带。由此，运输载带的两条轨道之间的间隔距离需要适应载带的宽度进行调整。
2、相关技术中，通常采用人工调整的方式。具体为，在轨道调节过程中，通常需要技术人员亲手根据载带的宽度对轨道之间的间隔距离进行调节。在这个调节过程中，需要技术人员肉眼去观察载带与轨道的配合，调节难度较大，且人工目测方式，调节的精度较低。
技术实现思路
1、本申请实施例公开了一种用于运输载带的运输设备，能够提高校准两条轨道之间的间距宽度的精度，降低调节难度。
2、为了实现上述目的，本申请公开了一种用于运输载带的运输设备，包括：
3、安装基座；
4、两条轨道，两条所述轨道之间间隔设置以形成轨道间距，所述轨道间距被配置为沿所述轨道的长度方向运输所述载带，两条所述轨道可拆卸连接于所述安装基座，以使...
【技术保护点】
1.一种用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述运输设备包括：
2.如权利要求1所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述宽度校准装置包括固定结构和校准主体，所述固定结构设置于所述安装基座，所述校准主体设置于所述固定结构，所述校准主体的一端设有校准部，至少部分所述校准部位于所述轨道间距内，所述校准部被配置为校准所述轨道间距的宽度。
3.如权利要求2所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述校准部为多个，各所述校准部的宽度不同。
4.如权利要求3所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，多个所述校准部的宽度沿所述轨道的厚度方向
<...【技术特征摘要】
1.一种用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述运输设备包括：
2.如权利要求1所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述宽度校准装置包括固定结构和校准主体，所述固定结构设置于所述安装基座，所述校准主体设置于所述固定结构，所述校准主体的一端设有校准部，至少部分所述校准部位于所述轨道间距内，所述校准部被配置为校准所述轨道间距的宽度。
3.如权利要求2所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述校准部为多个，各所述校准部的宽度不同。
4.如权利要求3所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，多个所述校准部的宽度沿所述轨道的厚度方向逐渐增大。
5.如权利要求3所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述校准主体沿所述轨道的厚度方向可滑动连接于所述轨道间距，以使对应宽度的所述校准部至少部分位于所述轨道间距内。
6.如权利要求5所述的用于运输载带的运输设备，其特征在于，所述宽度校准装置还包括调节手柄，所述调节手柄连接于所述校准主体远离所述校准部的...
【专利技术属性】
技术研发人员：林广满，范聚吉，石逸豪，
申请(专利权)人：深圳市深科达半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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