喷射头以及液体喷射装置制造方法及图纸

技术编号:42452114 阅读:50 留言:0更新日期:2024-08-21 12:44
本发明专利技术提供一种即使反复驱动也抑制了液体喷射特性发生劣化的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备:基板,其形成有多个与喷射液体的喷嘴连通的压力室;振动板,其被设置在基板的一面侧;压电致动器,其具有从振动板侧起在第一方向上层叠的第一电极、压电体层以及第二电极,在将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为活性部,将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的部分设为非活性部时,压电体层在活性部与非活性部之间连续地设置,非活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径大于活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具备振动板和具有第一电极、压电体层以及第二电极的压电致动器的液体喷射头以及液体喷射装置


技术介绍

1、作为压电器件之一的液体喷射头的代表例,可以列举出喷出油墨滴的喷墨式记录头。作为喷墨式记录头,已知有如下的结构,即,例如具备形成有与喷嘴连通的压力室的流道形成基板和在该流道形成基板的一面侧隔着振动板而依次层叠有下电极、压电体层以及上电极的压电致动器,并且通过利用压电致动器使压力室内的油墨产生压力变化,从而从喷嘴喷射油墨滴。

2、在这样的液体喷射头中,设置有压电致动器的活性部与多个压力室对应而作为多个区段存在,但压电体层隔着非活性部跨及多个区段而设置(例如,参照专利文献1)。

3、然而,该压电致动器存在如下的风险,即,因反复施加电压而在压电体部中累积应变,导致即使在不施加电压的状态下也会过度变形,而引起喷出特性大幅劣化。

4、此外,在专利文献1中提出了一种如下的结构,即,通过在活性部和非活性部的边界处设置延伸设置部93,并在上电极上设置成为荷重的金属层,从而限制压电致动器的移动来抑制过度的变形,以减弱在活本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种液体喷射头,其特征在于,具备:

2.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

3.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

4.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

5.如权利要求4所述的液体喷射头,其特征在于,

6.如权利要求4所述的液体喷射头,其特征在于,

7.如权利要求6所述的液体喷射头,其特征在于,

8.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

9.如权利要求8所述的液体喷射头,其特征在于,

10.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

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【技术特征摘要】

1.一种液体喷射头,其特征在于,具备:

2.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

3.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

4.如权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,

5.如权利要求4所述的液体喷射头,其特征在于,

6.如权利要求4所述的液体喷射头,其特征在于,

7.如权利要求6所述的液体喷射头,其特征在于,

8.如权利要求1所述的液体喷...

【专利技术属性】
技术研发人员:御子柴匡矩高部本规古池晴信王敬龄板山泰裕
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:

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