一种半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质技术

本申请涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质。半导体检测电路，包括多个电压输出电路，一一对应地连接到待检测的多个半导体器件；多个基准电压源，具有互不重叠的电压输出范围和互不相同的电压输出精度；基准电压切换模块，包括与多个基准电压源一一对应地连接的多个第一输入端、彼此并联的多个第一输出端、和切换开关；多个切换选择模块，分别包括具有第二输入端和第二输出端的放大电路、及选择开关；多个模数转换器，与所述多个切换选择模块一一对应地设置，并分别包括第三输入端和第三输出端；控制模块。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体检测，尤其涉及一种半导体检测电路和方法、半导体检测设备和存储介质。

技术介绍

1、在对半导体器件的生产或研究过程中，需要对其进行频繁的检测，并且在进行前述检测时，需要向待检测的半导体器件施加规定的电压以使其处在期望的工作状态。不同类型或规格的半导体器件所需要的工作电压(检测电压)不同，甚至相差数百倍。一般来说，对于额定工作电压很小(例如毫伏级)的半导体器件，其对接入电压(检测电压)的精度要求很高，例如其要求接入的检测电压与其额定工作电压的偏差在一毫伏之内，否则会导致该器件不能工作在理想状态，进而导致检测结果存在较大偏差。而对于额定工作电压较大(例如上百伏特)的半导体器件，其对接入电压(检测电压)的精度要求较小，即便接入的检测电压与其额定工作电压存在一伏特的偏差，也不会显著影响该半导体器件的工作状态。

2、为了确认半导体检测设备直接施加到待测半导体器件两端的检测电压为理想电压，需要借助模数转换器(analog to digital converter，adc)对该检测电压进行侦测，并基于侦测结果进行电压调整。这样，准确拟合出模数转本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体检测电路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体检测电路，其特征在于，所述控制模块被配置为：

3.根据权利要求2所述的半导体检测电路，其特征在于，在使所述第一基准电压源分别连接到所有所述第一半导体器件对应的各个模数转换器即第一模数转换器之前，所述控制模块被配置为：

4.根据权利要求2或3所述的半导体检测电路，其特征在于，在使所述第二基准电压源分别连接到所有所述第二半导体器件对应的各个模数转换器即第二模数转换器之前，所述控制模块被配置为：

5.一种电压校正方法，应用于如权利要求1至4中任一项所述的半导体检测电路，其特...

【技术特征摘要】

1.一种半导体检测电路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体检测电路，其特征在于，所述控制模块被配置为：

3.根据权利要求2所述的半导体检测电路，其特征在于，在使所述第一基准电压源分别连接到所有所述第一半导体器件对应的各个模数转换器即第一模数转换器之前，所述控制模块被配置为：

4.根据权利要求2或3所述的半导体检测电路，其特征在于，在使所述第二基准电压源分别连接到所有所述第二半导体器件对应的各个模数转换器即第二模数转换器之前，所述控制模块被配置为：

5.一种电压校正方法，应用于如权利要求1至4中任一项所述的半导体检测电路，其特征在于，所述方法包括：

6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗海，吴喆，王国庆，
申请(专利权)人：上海芯诣电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：