【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光散射检测,特别涉及一种激光散射检验装置。
技术介绍
1、超光滑表面元器件在微光机电系统、激光聚变系统、激光器谐振腔、探测器芯片、大规模集成电路基片和半导体制造等为主的光电子产业领域都有广泛的应用,超光滑表面微小缺陷检测方法之一为激光散射测量法,激光散射测量法由于其高灵敏度被广泛用于半导体检测中,该方法通过光收集器将被测表面产生的散射激光收集到探测器中,探测器距离缺陷点越近,散射光强越大,即探测器相对于缺陷点的散射截面越大,激光散射检验装置体积有大有小,小型的激光散射检验装置便于工作人员移动到其他地方进行检测,但是由于激光散射检验装置外部无提拉机构导致工作人员在移动激光散射检验装置时在只能双手环抱无法携带其他的物品且降低了工作人员携带该装置的便利性。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足,本技术提供了一种激光散射检验装置,解决了于激光散射检验装置外部无提拉机构导致工作人员在移动激光散射检验装置时在只能双手环抱无法携带其他的物品且降低了工作人
...【技术保护点】
1.一种激光散射检验装置,包括激光散射装置本体(1),其特征在于,所述激光散射装置本体(1)的外部设置有把手(2),激光散射装置本体(1)的两端均设置有转动机构;
2.如权利要求1所述的一种激光散射检验装置,其特征在于:每个所述转动轴(6)远离转动杆(5)的一端均滑动连接有卡块(8),把手(2)的两端均开设有卡槽(9);
3.如权利要求1所述的一种激光散射检验装置,其特征在于:每个所述转动轴(6)的外部均开设有滑槽(10);
4.如权利要求3所述的一种激光散射检验装置,其特征在于:每个所述滑槽(10)的内部均固定连接有弹簧(11);
5.如...
【技术特征摘要】
1.一种激光散射检验装置,包括激光散射装置本体(1),其特征在于,所述激光散射装置本体(1)的外部设置有把手(2),激光散射装置本体(1)的两端均设置有转动机构;
2.如权利要求1所述的一种激光散射检验装置,其特征在于:每个所述转动轴(6)远离转动杆(5)的一端均滑动连接有卡块(8),把手(2)的两端均开设有卡槽(9);
3.如权利要求1所述的一种激光散射检验装置,其特征在于:每个所述转动轴(6)的外部均开设有滑槽(10);
<...【专利技术属性】
技术研发人员:刘军,刘辉,刘苏娜,
申请(专利权)人:湖南冠导光电有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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