弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术能够提供一种能够在不导致大型化的情况下容易地调整相对带宽的弹性波装置。本发明专利技术的弹性波装置(1)具备：支承基板(3)；压电体层(7)，设置在支承基板上，具有相互对置的第1主面(7a)和第2主面(7b)；第1IDT电极(9A)，设置在压电体层的第1主面；第2IDT电极(9B)，设置在第2主面；以及电介质膜(8A)，设置在压电体层的第1主面与第1IDT电极之间以及第2主面与第2IDT电极之间中的至少一者。电介质膜以及压电体层分别具有包含Li、Ta以及O的结构、和包含Li、Nb以及O的结构中的一种结构。在电介质膜和压电体层中，极化方向、材料包含的元素、以及材料的组成中的至少任一者相互不同。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及弹性波装置。

技术介绍

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。在该弹性波装置中，在压电体层的两个主面设置有绝缘体层。在压电体层的两个主面，隔着绝缘体层间接地设置有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2022/202917号

5、在像专利文献1记载的弹性波装置那样在压电体层与idt电极之间设置有绝缘体层的情况下，能够通过调整绝缘体层的厚度来调整相对带宽。另外，在专利文献1中，作为绝缘体层的材料的例子，可列举氮化硅、氧化硅、氧化钽、矾土以及氮氧化硅。然而，上述的材料的介电常数并非足够高。因此，在专利文献1的弹性波装置中，在想要得到所希望的静电电容的情况下，弹性波装置会大型化。

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、本专利技术的目的在于，提供一种能够在不导致大型化的情况下容易地调本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

【技术特征摘要】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩本英树，道上彰，奥永洋梦，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：