弹性波装置制造方法及图纸

抑制压电层的裂纹。具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；多个第1电极指，设置在压电层的第1方向上，并且在与第1方向正交的第2方向上延伸；以及多个第2电极指，在与第1方向及第2方向正交的第3方向上与多个第1电极指的任一者对置，并且在第2方向上延伸。在压电层，存在将压电层在第1方向上贯通的贯通孔。在支承构件，存在空间部。多个电极指设置为在第1方向上俯视时至少一部分与空间部重叠。贯通孔设置为在第1方向俯视时至少一部分与空间部重叠。在贯通孔的第2方向上，设置有多个电极指之中的至少1个。在贯通孔的第3方向上，未设置多个电极指。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及弹性波装置。

技术介绍

1、在专利文献1记载了一种弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、在专利文献1所示的弹性波装置中，有时在支承基板与压电层之间设置空间部。在该情况下，有可能在压电层产生裂纹。

3、本公开用于解决上述的问题，其目的在于，抑制压电层的裂纹。

4、用于解决问题的技术方案

5、一个方式涉及的弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在所述支承构件的所述第1方向上；多个第1电极指，设置在所述压电层的所述第1方向上，并且在与所述第1方向正交的第2方向上延伸；以及多个第2电极指，在与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一者对置，并且在所述第2方向上延伸，在所述压电层存在将所述压电层在所述第1方向上贯通的贯通孔，在所述支承构件存在空间部，所述多个本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1至9中任一项所述的弹性波装置，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的弹性波装置，其中，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：山根毅，井上和则，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：