【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密仪器，具体涉及一种具有定位功能的承载台。
技术介绍
1、对于切片好的如晶圆、硅片等此类片状的物体，大多采用自动光学检测设备进行光学检测。比如在对硅片进行光学测试前，需要先将硅片放置到硅片专用的承载台上，由承载台对硅片进行定位、固定，承载台要求定位精准、不会对硅片表面造成损伤，因此对承载台的设计要求比较高、也只能专用于硅片承载，专利技术人在实现本专利技术的过程中，发现现有的用于硅片定位、固定的承载台至少存在有以下缺点：普通的承载台只支持硅片的测试测量，所设计的承载台的结构、形状也只能契合于应用在大致为圆形的硅片，功能单一，对于其他形状的片状物体的检测则需要再另外定制承载台、甚至需要另外定制设备，设备成本高，有可能还需要占用额外的场地空间。
2、现有技术如名为承载台及加工设备的专利技术专利，此专利技术专利的公开号为jp2024073260a。此专利技术一种能够在任意位置改变被保持的工件的高度的保持台以及具备该保持台的加工装置，其方案通过保持板状的工件的保持台具备在吸附面吸附保持工件的多孔板、以及与多孔板的吸附面...
【技术保护点】
1.一种具有定位功能的承载台，包括第一基体（1）和与之配合的第一轨道（2），所述第一基体（1）上设有载物台（3），其特征在于，所述载物台（3）包括第一载物板（31），所述第一载物板（31）上均匀设有不少于三个的载物孔（32），所述载物孔（32）内收容有支撑组件（4），所述支撑组件（4）包括支撑基体（41），所述支撑基体（41）上端部设有支撑盲孔（42），所述支撑盲孔（42）内设有第一弹簧（43），所述第一弹簧（43）连接有与支撑盲孔（42）配合设置的支撑杆（44），所述支撑杆（44）包裹有支撑台（45）。
2.根据权利要求1所述一种具有定位功能的承载台，其...
【技术特征摘要】
1.一种具有定位功能的承载台，包括第一基体（1）和与之配合的第一轨道（2），所述第一基体（1）上设有载物台（3），其特征在于，所述载物台（3）包括第一载物板（31），所述第一载物板（31）上均匀设有不少于三个的载物孔（32），所述载物孔（32）内收容有支撑组件（4），所述支撑组件（4）包括支撑基体（41），所述支撑基体（41）上端部设有支撑盲孔（42），所述支撑盲孔（42）内设有第一弹簧（43），所述第一弹簧（43）连接有与支撑盲孔（42）配合设置的支撑杆（44），所述支撑杆（44）包裹有支撑台（45）。
2.根据权利要求1所述一种具有定位功能的承载台，其特征在于，所述第一基体（1）上设有升降电机（11）。
3.根据权利要求1所述一种具有定位功能的承载台，其特征在于，...
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