一种多自由度可调节光学反射镜架制造技术

本技术包括一种多自由度可调节光学反射镜架，包括调整支架底座组件、调整支架旋转组件和调整支架反射镜平面室。通过三自由度调整可以保证反射镜的位置精度，并且可以利用该镜架使反射镜片满足光路的特殊要求，如补偿其他光学元器件的精度误差，从而提高投影效果质量。并且，反射镜的两侧支撑稳定，能够支撑大面积大重量的反射镜，使反射镜在调节过程中不会因为重量的因素而出现精度明显下降的情况，降低了反射镜的调节难度。本技术设有调整支架反射镜平面室，方便镜体与支撑座进行拆装。本技术能够降低加工制造成本，使得水平与垂直负载能力得到很大提高，极大提高整体稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学反射镜安装装置，具体涉及一种多自由度可调节光学反射镜架。

技术介绍

1、大口径高精度反射镜包含介质膜宽带反射镜、金属平面反射镜、金属凹面反射镜、直角棱镜反射镜、激光线反射镜、超快反射镜、二向色镜、nd：yag谐波分光镜和离轴抛物面反射镜等。大口径高精度反射镜在进行加工时，均需要从不同的交底进行光学检验测试，以检查和确认反射镜的透光率、光线反射率等等参数，所以就需要一种方便对反射镜调整各个角度的大口径高精度反射镜夹持装置。

2、在对例如光刻掩膜版等类似的光学元器件进行检测时，反射镜是一种提供稳定检测光的常用器具。通过反射镜反光的方式，使得反射镜能够提供稳定的平行光源，确保了光刻掩膜版的光学检测的准确性。在检测之前，都需要对反射镜的角度高度进行调节，使反射镜的反射光能够覆盖被检测的光刻掩膜版。但是在对尺寸面积较大的光刻掩膜版进行检测时，需要使用的反射镜尺寸也比较大。在反射镜尺寸较大的情况下，反射镜本身的重量也就很大，并且由于需要调节反射镜角度位置的原因，因此反射镜通常设置在调节座的最高处，以便于调节架对反射镜的角度位置调节。在反射镜重本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多自由度可调节光学反射镜架，其特征在于，包括调整支架底座组件(1)、调整支架旋转组件(2)和调整支架反射镜平面室(3)；所述调整支架底座组件(1)包括调节座组件(1.1)、底板(1.2)、电动旋转台(1.3)、气泡仪(1.4)、电机驱动组件(1.5)以及电气按钮安装板组件(1.6)；所述底板(1.2)左、右下部设有若干型腔，用于安装若干调节座组件(1.1)；通过调节若干调节座组件(1.1)，可实现调整支架底座组件(1)在一定范围内上下移动；底板(1.2)中间设有圆孔，后侧设有型腔，用于安装电动旋转台(1.3)；底板(1.2)左前方与右后方设有型腔，用于放置气泡仪(1.4)；电机驱...

【技术特征摘要】

1.一种多自由度可调节光学反射镜架，其特征在于，包括调整支架底座组件(1)、调整支架旋转组件(2)和调整支架反射镜平面室(3)；所述调整支架底座组件(1)包括调节座组件(1.1)、底板(1.2)、电动旋转台(1.3)、气泡仪(1.4)、电机驱动组件(1.5)以及电气按钮安装板组件(1.6)；所述底板(1.2)左、右下部设有若干型腔，用于安装若干调节座组件(1.1)；通过调节若干调节座组件(1.1)，可实现调整支架底座组件(1)在一定范围内上下移动；底板(1.2)中间设有圆孔，后侧设有型腔，用于安装电动旋转台(1.3)；底板(1.2)左前方与右后方设有型腔，用于放置气泡仪(1.4)；电机驱动组件(1.5)通过螺钉与电动旋转台(1.3)连接在一起；电气按钮安装板组件(1.6)设有急停和开关按钮，用于控制水平旋转运动与垂直旋转运动；所述电动旋转台(1.3)包括底座(1.3.1)、旋转轴一(1.3.2)、蜗杆座一(1.3.3)、电机驱动组件一(1.3.4)、蜗轮一(1.3.7)以及蜗杆一(1.3.8)和转盘轴承一(1.3.9)；其中，转盘轴承一(1.3.9)安装于底座(1.3.1)型腔内；蜗轮一(1.3.7)安装在转盘轴承一(1.3.9)正上方；旋转轴一(1.3.2)安装在蜗轮一(1.3.7)正上方；蜗杆一(1.3.8)贯装于底座内与蜗轮一(1.3.7)啮合安装在一起；圆光栅(1.3.10)安装在旋转轴一(1.3.2)正下方；蜗杆一(1.3.8)一端通过轴承、联轴器、压紧螺母和外圈螺母固定于蜗杆座一(1.3.3)内，且与电机驱动组件一(1.3.4)连接在一起，另一端通过轴承、外圈螺母固定于轴承座一(1.3.5)上；一个调节块(1.3.6)安装于底座(1.3.1)型腔内，且位于轴承座一左侧；另一个调节块安装于型腔内，且位于蜗杆座一(1.3.3)左侧；所述调整支架底座组件(1)用来手动调整z轴方向位移与精确调整水平偏摆角度。

2.根据权利要求1所述的一种多自由度可调节光学反射镜架，其特征在于，所述调整支架旋转组件(2)包括旋转板(2.1)、左支撑组件(2.2)、右支撑组件(2.3)、若干个加强筋板(2.4)和镜室安装板(2.5)；其中，左支撑组件(2.2)通过螺栓联接和加强筋板(2.4)固定在旋转板(2.1)左端，右支撑组件(2.3)通过螺栓联接和加强筋板(2.4)固定在旋转板(2.1)右端；镜室安装板(2.5)左、右两侧分别通过螺栓联接与左支撑组件(2.2)、右支撑组件(2.3)连接在一起；调整支架旋转组件(2)，用来精确调整反射镜俯仰角度。

3.根据权利要求2所述的一种多自由度可调节光学反射镜架，其特征在于，所述左支撑组件(2.2)包括支撑柱一(2.2.1)、转盘轴承二(2.2.2)、蜗轮二(2.2.3)、蜗杆二(2.2.4)、转轴一(2.2.5)、旋转板二(2.2.6)、蜗杆座二...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈双坤，徐滨海，刘荣勇，张玉年，段胜，
申请(专利权)人：武汉红星杨科技有限公司，
类型：新型
国别省市：