【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及例如能够输送要求平面度的平板状的输送对象物或能够将极小的部件沿平面方向配置多个进行输送的输送装置。
技术介绍
1、在输送极小的部件时,研究使用一种在表面具有多个凸部的印模(stamp)状的输送工具(印模工具)。下述专利文献1公开了该印模状的输送工具的例子。现有技术公开了一种用于使得能够利用热膨胀(coefficient of thermal expansion,热膨胀系数)使输送对象脱离的印模工具。
2、作为假定为印模工具的输送对象的极小部件的一例,有被称为小型led、微型led的led元件。与以往的常用的led元件相比,小型led、微型led的宽度为1~8μm、长度为5~10μm、高度为0.5~3μm,非常小。
3、也如现有技术那样,通过从配置有多个这样的led元件的晶片拾取元件,并向相当于显示器的基板输送,制造led显示器。这样,在一次输送多个微小的led元件等部件并将它们安装于输送源的基板时等,需要将安装印模工具的安装面、和输送源或输送目的地的工作台的平面以高精度平行配置,其中,印模工具保持由
...【技术保护点】
1.一种输送装置,其特征在于,具有:
2.根据权利要求1所述的输送装置,其特征在于:
3.根据权利要求2所述的输送装置,其特征在于:
4.根据权利要求3所述的输送装置,其特征在于:
5.根据权利要求1~4中任一项所述的输送装置,其特征在于:
6.根据权利要求2~4中任一项所述的输送装置,其特征在于,还具有:
7.根据权利要求6所述的输送装置,其特征在于,还具有:
8.根据权利要求1~4中任一项所述的输送装置,其特征在于:
【技术特征摘要】
1.一种输送装置,其特征在于,具有:
2.根据权利要求1所述的输送装置,其特征在于:
3.根据权利要求2所述的输送装置,其特征在于:
4.根据权利要求3所述的输送装置,其特征在于:
5.根据权利要求1~4中...
【专利技术属性】
技术研发人员:和田祐贵,小泉洋,进藤修,竹岛悟,池田浩,吉冈世生,加藤康生,
申请(专利权)人:TDK株式会社,
类型:发明
国别省市:
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