本公开是关于一种生成截面轮廓图的方法、装置、计算机设备及存储介质。生成截面轮廓图的方法包括：获取各工艺层的工艺信息；根据工艺信息，构建由各工艺层组成的三维结构图；根据三维结构图，生成各工艺层的截面轮廓图；其中，截面轮廓图为各工艺层在预设截面上的轮廓图，预设截面为沿各工艺层的堆叠方向延伸的截面。该方法能够高效、准确的生成截面轮廓图，且所生成的截面轮廓图能够明确清楚的显示出各工艺层的实际堆叠效果，方便设计者在设计真实版图前进行设计构想，提高版图设计的效率。
【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体，具体涉及一种生成截面轮廓图的方法、装置、计算机设备及存储介质。
技术介绍
1、在集成电路设计领域和平板显示领域进行版图设计时，需要根据各工艺层之间的连接关系和各工艺层的实际堆叠效果，进行版图设计。现有方案是根据对实际版图的理解和各工艺层的基本信息，一层一层直接生成各工艺层堆叠的截面轮廓图，用于在设计真实版图前进行设计构想。但是，该方案缺乏真实版图的联系，并且仅凭想象力想象几十上百层的工艺层的堆叠效果是非常困难的，因此，截面轮廓图的实际显示效果不佳，且对于不同工艺文件的适配性较差。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本公开提供了一种生成截面轮廓图的方法、装置、计算机设备及存储介质。
2、根据本公开实施例的第一方面，提供了一种生成截面轮廓图的方法，所述方法包括：
3、获取各工艺层的工艺信息；
4、根据所述工艺信息，构建由所述各工艺层组成的三维结构图；
5、根据所述三维结构图，生成所述各工艺层的截面轮廓图；
>6、其中，所述截面本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述工艺信息，构建由所述各工艺层组成的三维结构图，包括：
3.根据权利要求2所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述工艺信息和所述各工艺层之间的相对位置关系，确定所述各工艺层的二维平面图，包括：
4.根据权利要求3所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述二维平面图，构建所述三维结构图，包括：
5.根据权利要求4所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述各工艺层的高度值，将所述二维平面图...
【技术特征摘要】
1.一种生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述工艺信息，构建由所述各工艺层组成的三维结构图，包括：
3.根据权利要求2所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述工艺信息和所述各工艺层之间的相对位置关系，确定所述各工艺层的二维平面图，包括：
4.根据权利要求3所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述二维平面图，构建所述三维结构图，包括：
5.根据权利要求4所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述各工艺层的高度值，将所述二维平面图转换为所述三维结构图，包括：
6.根据权利要求5所述的生成截面轮廓图的方法，其特征在于，所述根据所述三维结构图，生成所述各工...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜付本，魏洪川，李相启，陆涛涛，
申请(专利权)人：深圳华大九天科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。