一种MEMS微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法技术

本发明专利技术提供一种MEMS微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，包括微镜驱动信号按照设定步长进行扫描，以微镜多个驱动信号所对应的多个扫描角度，得到扫描测试数据表函数；进行函数求逆运算，得到驱动测试数据表函数；利用拟合算法或插值算法进行数据滤波、扩增，生成驱动数据表函数；基于驱动数据表函数，确定期望的扫描角度的相应微镜驱动信号，输入至MEMS微镜，以使其偏转至期望输出的扫描角度。本发明专利技术的方法采用“稀疏”的大步长扫描测试、求逆运算、拟合或插值运算的方法获取高精度的驱动数据表函数，并对所获得的驱动数据表函数的精度进行验证，以实现快速、高精度的MEMS微镜及其阵列的标定测试，极大缩短测试时间、大幅度降低标定测试成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于mems技术、光学mems，尤其涉及一种mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，广泛应用于光刻机、激光通信、光交换矩阵、3d测量、mems移相器、mems激光相控阵等高精度光学扫描。

技术介绍

1、随着mems技术的发展，mems与光学技术的融合产生了光学mems技术，由此而诞生了光学mems器件，因其独特的光学技术优势而在现代光学中具有广阔的应用前景。由于光学应用需求与制造工艺的简便，mems微反射镜(简称mems微镜)成为研究、应用最广泛的光学mems器件。mems微镜(及其阵列)是基于mems工艺将微驱动器与微反射镜集成制造在单一芯片的mems器件，具有快速、高精度、多维度的光束操控功能，可以实现对入射光束的指向、扫描、相位调节、光强调制等操控功能，在现代光学技术中具有广泛的应用，特别是在光学投影、光刻机、激光相控阵、光通信器件与系统、激光雷达、光学精密测量等领域具有重要应用，市场前景广阔。

2、mems微镜技术经过三十多年的研究已发展成为一个器件大家族，可以从多个维度进行分类。根据单芯片中微镜的数量，可以分为单微镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，在所述步骤S1～S7中，满足以下各项中的至少一项：

3.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，在所述步骤S2中，所述MEMS微镜的光电标定测试设备至少包括光电角位置检测仪、用于切换待标定的MEMS微镜的焊盘以向不同焊盘提供微镜驱动信号的驱动信号切换装置、以及与驱动信号切换装置和光电角位置检测仪均连接的控制系统；所述光电角位置检测仪与待标定的MEMS微镜的镜面...

【技术特征摘要】

1.一种mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，在所述步骤s1～s7中，满足以下各项中的至少一项：

3.根据权利要求1所述的一种mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，在所述步骤s2中，所述mems微镜的光电标定测试设备至少包括光电角位置检测仪、用于切换待标定的mems微镜的焊盘以向不同焊盘提供微镜驱动信号的驱动信号切换装置、以及与驱动信号切换装置和光电角位置检测仪均连接的控制系统；所述光电角位置检测仪与待标定的mems微镜的镜面正面正对以检测反射光斑质心的位置，控制系统用于采集、记录数据以及测试控制；

4.根据权利要求3所述的一种mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，所述mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法适用于晶圆级测试和模块级测试；

5.根据权利要求3所述的一种mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，在所述步骤s2中，满足以下各项中的至少一项：

6.根据权利要求1所述的一种mems微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，其特征在于，在步骤s1提...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴亚明，凌必赟，夏彧虎，蔡敏力，王潇悦，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：