【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学显微测量，具体地讲，涉及一种非对称双目镜成像测量显微镜及测量方法。
技术介绍
1、在微型器件研究和生产中，为了评估器件的质量和性能，常常需要测量微型器件中待测物体的厚度（或深度）。例如，测量镀膜的厚度、测量芯片各层的厚度、测量光栅表面和光栅槽底面之间的距离、测量腐蚀坑的深度等。
2、由于待测物体的厚度（或深度）非常小，光学显微镜法是测量它们的一种常用方法。例如，共焦显微镜通过对待测物体逐点扫描或旋转待测物体获取材料的厚度（或深度）的数据；光谱共焦显微镜通过轴向色散技术获取材料的厚度（或深度）的数据。
3、现有的测量方法步骤繁琐、读数不方便，也不能同时观察待测物体两个表面的实时图像。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种非对称双目镜成像测量显微镜及测量方法，不仅能够能够测量待测物体的厚度或深度，还能够同时观察待测物体两个表面的实时图像；而且测量步骤简单，读数方便。
2、本专利技术采用如下技术方案实现专利技术目的：
...【技术保护点】
1.一种非对称双目镜成像测量显微镜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的非对称双目镜成像测量显微镜，其特征在于：所述目镜筒体一（11b ）沿轴线固定插入所述镜筒一（10），所述目镜一（11a）固定在所述目镜筒体一（11b ）的上端，所述目镜筒体二（15b）内外径与所述伸缩筒（14a）内外径均相等，所述目镜筒体二（15b）固定连接所述伸缩筒（14a），所述目镜筒体二（15b）与所述伸缩筒（14a）沿轴向方向插入所述镜筒二（13），所述目镜筒体二（15b）与所述伸缩筒（14a）可沿所述镜筒二（13）的轴线方向移动，所述目镜二（15a）固定在所述目镜筒体...
【技术特征摘要】
1.一种非对称双目镜成像测量显微镜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的非对称双目镜成像测量显微镜，其特征在于：所述目镜筒体一（11b ）沿轴线固定插入所述镜筒一（10），所述目镜一（11a）固定在所述目镜筒体一（11b ）的上端，所述目镜筒体二（15b）内外径与所述伸缩筒（14a）内外径均相等，所述目镜筒体二（15b）固定连接所述伸缩筒（14a），所述目镜筒体二（15b）与所述伸缩筒（14a）沿轴向方向插入所述镜筒二（13），所述目镜筒体二（15b）与所述伸缩筒（14a）可沿所述镜筒二（13）的轴线方向移动，所述目镜二（15a）固定在所述目镜筒体二（15b ）的上端。
3.根据权利要求1所述的非对称双目镜成像测量显微镜，...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟现柱，赵红，王明红，杨效华，赵楠，吕太国，
申请(专利权)人：聊城大学，
类型：发明
国别省市：
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