一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机制造技术

技术编号:42382495 阅读:12 留言:0更新日期:2024-08-16 16:11
本技术公开了单晶硅片生产技术领域的一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机,包括底座,底座的上表面安装有清洗箱,清洗箱的顶部设有顶盖,且清洗箱的左侧外壁中部连接有驱动盒,驱动盒内设有驱动组件,驱动组件包括两组转杆,两组转杆的底部均安装有插片筒,两组插片筒均转动连接在清洗箱内腔,且插片筒上开设有多组槽口,每组槽口内均设有夹紧结构,清洗箱的左侧外壁设有输水泵、排水管,清洗箱的右侧外壁安装有清洗液输送泵、排液管,驱动组件可带动插片筒上的单晶硅片转动,单晶硅片可充分与脱胶液体、清水接触碰撞摩擦,提高了单晶硅片的脱胶、清洗效果,取代了传统的人工浸泡脱胶清洗,提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅片生产,具体为一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机


技术介绍

1、单晶硅片是一种高纯度的硅材料,它的外观呈现出一块块光滑的薄片状,通常呈方形或圆形,单晶硅片在制造集成电路和太阳能电池中扮演着重要的角色。单晶硅片具有优异的电学性能和稳定的物理特性,可用于制造高速微处理器、存储芯片以及高效的太阳能电池。

2、在单晶硅片生产完成后,需要对单晶硅片进行脱胶清洗,但是在对单晶硅片进行脱胶和清洗处理时,多是人工将单晶硅片静止浸泡在脱胶液体内,脱胶液体不能与单晶硅片上的胶充分接触碰撞摩擦,胶体自行软化脱落时间长,浸泡脱胶清洗等待时间长,工作效率低下,为此,我们提出一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

3、一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机,包括底座,底座的上表面安装有清洗箱,清洗箱的顶部设有顶盖,且清洗箱的左侧外本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面安装有清洗箱(2),所述清洗箱(2)的顶部设有顶盖(3),且清洗箱(2)的左侧外壁中部连接有驱动盒(4),所述驱动盒(4)内设有驱动组件,所述驱动组件包括两组转杆(12),两组转杆(12)的底部均安装有插片筒(13),两组插片筒(13)均转动连接在清洗箱(2)内腔,且插片筒(13)上开设有多组槽口(14),每组槽口(14)内均设有夹紧结构,所述清洗箱(2)的左侧外壁设有输水泵(5)、排水管(7),所述清洗箱(2)的右侧外壁安装有清洗液输送泵(6)、排液管(8)。

2.根据权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面安装有清洗箱(2),所述清洗箱(2)的顶部设有顶盖(3),且清洗箱(2)的左侧外壁中部连接有驱动盒(4),所述驱动盒(4)内设有驱动组件,所述驱动组件包括两组转杆(12),两组转杆(12)的底部均安装有插片筒(13),两组插片筒(13)均转动连接在清洗箱(2)内腔,且插片筒(13)上开设有多组槽口(14),每组槽口(14)内均设有夹紧结构,所述清洗箱(2)的左侧外壁设有输水泵(5)、排水管(7),所述清洗箱(2)的右侧外壁安装有清洗液输送泵(6)、排液管(8)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机,其特征在于:所述驱动组件还包括伺服电机(9),所述伺服电机(9)位于驱动盒(4)的外侧壁中部,且伺服电机(9)的输出端连接有转轴,所述转轴上套有主动齿轮(10)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片生产用脱胶插片清洗一体机,其特征在于:所述主动齿轮(10)的两侧壁均啮...

【专利技术属性】
技术研发人员:何其金何飞方艺霖张靖
申请(专利权)人:双鹏新能源科技江苏有限公司
类型:新型
国别省市:

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