【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数据处理，尤其涉及一种样品元素浓度确定方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、二次离子质谱(sims，secondary ion mass spectroscopy)是一种利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表面，使之激发和溅射二次离子，经过加速和质谱分析进行样品表面成分分析的手段。尽管二次离子质谱检测灵敏度很高，但二次离子质谱对芯片样品元素的不同深度下的浓度定量分析仍存在精确度不够的问题，样品元素的浓度无法用离子强度来进行客观比较。
2、现有技术在进行样品元素在不同溅射深度下的浓度确定方式通常是基于元素在不同溅射时间下的离子强度数据，再不考虑样品元素自身结构特性的基础上进行溅射深度与元素浓度的关系转换。然而，这种方式确定得到的样品元素在不同溅射深度下的元素浓度的精确度较低，从而导致计算结果与实际结果之间存在较大的偏差。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种样品元素浓度确定方法、装置、设备及存储介质，以提高样品元素在不同溅...
【技术保护点】
1.一种样品元素浓度确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定各所述样品分层结构分别对应的参考标样，包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述标样元素参数信息包括：标样元素离子信号强度和标样元素浓度；所述标样元素离子信号强度信息包括标样待测元素离子信号强度和基质元素离子信号强度。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据各所述参考标样的标样元素参数信息，确定各所...
【技术特征摘要】
1.一种样品元素浓度确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定各所述样品分层结构分别对应的参考标样，包括：
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述标样元素参数信息包括：标样元素离子信号强度和标样元素浓度；所述标样元素离子信号强度信息包括标样待测元素离子信号强度和基质元素离子信号强度。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据各所述参考标样的标样元素参数信息，确定各所述样...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈向阳，蒋军浩，
申请(专利权)人：武汉天工芯测科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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