【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微机电,具体涉及一种即插即用的微纳米喷针制造方法及微纳米喷针。
技术介绍
1、电液动力射流是一种可使用溶液墨水直接印写微纳图形的技术。可按需增材制造,将各种功能材料直接印写在目标基底上,实现低成本直写打印高分辨率微纳图形。应用于柔性电子设备制造、生化打印、场效应晶体管和有机发光二极管等领域。研究表明,电液动力射流具有尺度效应,缩小喷针内径尺寸是实现纳米级打印的有效方法。然而微纳喷针在打印过程中杂物、颗粒物、沉积物、化学反应产物等导致物质堆积、黏附或变质等极易造成喷针堵塞,是打印过程中的易耗品。因此,如何大面积制造即插即用的微纳米喷针是该领域急需解决的重大问题。
2、目前,采用sutter拉制仪通过加热拉伸的方法可获得尺寸为300nm的石英喷针,但在加热拉伸过程中尺寸难以控制,极易发生破碎。利用su-8光刻胶显影后由于应力释放形成热收缩和体积收缩引起的纳米裂纹制备微纳米喷针,可获得尺度为250nm的聚合物su-8喷针,但该方法同样存在难以控制、重复性低等问题。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:采用角度成型剥离法制备硅纳米凹模具,包括以下步骤:
3.根据权利要求2所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:采用浇注法制造PDMS纳米凸模具,包括以下步骤:
4.根据权利要求3所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:在制备PDMS-PEO微纳喷针凸模具的步骤中,还包括:
5.根据权利要求4所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:
6.根据
...【技术特征摘要】
1.一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:采用角度成型剥离法制备硅纳米凹模具,包括以下步骤:
3.根据权利要求2所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:采用浇注法制造pdms纳米凸模具,包括以下步骤:
4.根据权利要求3所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:在制备pdms-peo微纳喷针凸模具的步骤中,还包括:
5.根据权利要求4所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:
6.根据权利要求5所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方法,其特征在于:采用浇注法浇注pdms-peo微纳米喷针凸模具获得未键合的聚合物微纳米喷针的方法包括:
7.根据权利要求6所述的一种即插即用的微纳米喷针制造方...
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