一种超高纯级单相奥氏体不锈钢及其制备方法技术

本申请涉及一种超高纯级单相奥氏体不锈钢及其制备方法，所述方法包括：得到具有设定纯度的原材料，所述原材料包括铬、镍、钼以及铁，所述铁的纯度通过重熔预处理得以提高；将所述原材料进行真空感应熔炼，后进行浇注，得到第一钢锭；将所述第一钢锭进行真空电弧重熔处理，得到第二钢锭；将所述第二钢锭进行锻造，后进行固溶热处理，得到超高纯级单相奥氏体不锈钢。本申请内容解决了现有不锈钢难以满足材料的高纯净度要求的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及不锈钢制备，尤其涉及一种超高纯级单相奥氏体不锈钢及其制备方法。

技术介绍

1、随着半导体制造行业的发展，生产更小更复杂的器件，同时不断提高可靠性及产量成为了主要趋势。然而，半导体制造过程对环境中的微小杂质极为敏感，甚至微量的异物都可能对晶圆加工产生影响。超高纯不锈钢材料在半导体行业中扮演至关重要的作用，从高纯气体配管到关键部件的制造等均有应用。这些部件对材料的应用等级、化学成分、夹杂物含量具有极高的要求。此外，单向奥氏体不锈钢具有优异的强度、塑性和耐腐蚀性，可应用于在极端条件下保持结构完整和耐腐蚀性的特殊领域。因此，超高纯级单相奥氏体不锈钢因其优异的纯净度、耐腐蚀性、高塑性等，已成为超高纯度气体输送系统的行业标准。

2、然而，传统制备不锈钢的制备工艺存在一些问题。传统冶金方法难以完全去除不锈钢中的杂质，尤其是硫(s)、磷(p)、铝(al)等杂质元素，这些杂质元素会降低不锈钢的耐腐蚀性能和机械性能，甚至引发应力腐蚀开裂等问题。同时，氧、氮含量较高，会形成氧化铝、氧化硅、氧化铬等非金属夹杂物，难以满足材料的高纯净度的要求。此外，不锈钢的制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超高纯级单相奥氏体不锈钢的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铬的设定纯度≥99.94％，所述镍的设定纯度为≥99.96％，所述钼的设定纯度为≥99.70％，所述铁的设定纯度为≥99.97％。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述原材料进行真空感应熔炼，后进行浇注，得到第一钢锭，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空电弧重熔处理的工艺参数包括：真空漏率小于0.2Pa/min，起弧电流为500A～2000A，熔炼电流为1000A～5000A，熔炼电压为20V～40...

【技术特征摘要】

1.一种超高纯级单相奥氏体不锈钢的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铬的设定纯度≥99.94％，所述镍的设定纯度为≥99.96％，所述钼的设定纯度为≥99.70％，所述铁的设定纯度为≥99.97％。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述原材料进行真空感应熔炼，后进行浇注，得到第一钢锭，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空电弧重熔处理的工艺参数包括：真空漏率小于0.2pa/min，起弧电流为500a～2000a，熔炼电流为1000a～5000a，熔炼电压为20v～40v。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述固溶热处理的工艺参数包括：温度为985℃～1150℃，时间为10min～60min。

6.根据权利要求1～5任意一项所述的方法，其特征在于，在所述原材料中，以质量分数计，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵斌，张志伟，赵文倩，牛永吉，刘海稳，安宁，李振瑞，降向冬，丁绍松，
申请(专利权)人：北京北冶功能材料有限公司，
类型：发明
国别省市：